prepFAST PPQ 超纯化学品在线稀释和预浓缩系统(半导体应用)
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prepFAST PPQ 超纯化学品在线稀释和预浓缩系统(半导体应用)

参考价:面议
型号: prepFAST PPQ
产地: 美国
品牌: ESI
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ESI prepFAST PPQ

 超纯化学品在线稀释和预浓缩系统(半导体应用)


prepFAST PPQ利用注射器驱动的UPW 、半导体级酸和标准溶液的流动,实现样品稀释和标准曲线生成的自动化。它消除了对样品的人工处理,在直接分析模式下提供亚ppt的检测限能力,在浓缩模式下提供亚ppq的检测限能力。


直接分析模式:

-任何样本矩阵的通用性

-亚PPT检测限值

-自动化MSA校准

-自动在线稀释


浓缩模式:

-适用于UPW、30%H2O2和IPA

-低于PPQ检测限值

-在回收金属的同时去除难降解的基质,如IPA

-消除ICPMS干扰和背景对结果的影响

-与直接分析相比灵敏度更高

UPW中的浓度模式检测限值(1000x浓度系数)




Elements

DL   (ppq)

Elements

DL   (ppq)

Li

0.02

Fe

0.3

B

9

Co

0.01

Na

0.6

Ni

0.07

Mg

0.2

Cu

0.07

Al

0.6

Zn

0.4

Si

240

Mo

0.3

K

0.4

Ag

0.05

Ca

0.3

Cd

0.06

Ti

0.2

Ba

0.04

Cr

0.4

W

0.4

Mn

0.07

Pb

0.05

图片.png


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