| 型号： | MicroProf MHU |
| 产地： | 德国 |
| 品牌： | FRT |
| 评分： |
|
带MHU的半自动计量设备
带材料处理单元的计量工具是专门为半导体、MEMS、蓝宝石和LED行业开发的。典型应用是在各种光刻工艺步骤中测量裸晶片、涂层晶片和结构化晶片。由于机械臂带有两个真空端部执行器，该设备的吞吐量非常高，每小时可达220个晶片。它可以处理2到8英寸的晶片尺寸。最多可以处理4个打开的盒式磁带，并且可以在设备中集成预对准器和OCR读取器。
| 用户单位 | 采购时间 |
| 华为 | 2015/06/01 |
相关产品
Zeta三维光学轮廓仪
Denton（丹顿）PE-CVD
LUMINA光学表面缺陷分析仪
Norcada电镜原位偏压加热系统
Elionix离子束刻蚀系统
Elionix电子束曝光系统
KLA高温原位纳米压痕仪I nSEM HT
NenoVision原位原子力显微镜LiteScope
filmetrics 台式膜厚测试仪 F20
KLA-Tencor先进的探针式台阶仪
Agilent UTM T150纳米拉伸试验机
Agilent UTM T150纳米拉伸试验机
Agilent UTM T150纳米拉伸试验机
KLA Gemini压痕力学测试系统
KLA纳米压痕原位力学测试模块NanoFlip
关注
拨打电话
留言咨询
