| 型号： | ZETA 20 |
| 产地： | 美国 |
| 品牌： | KLA |
| 评分： |
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产品介绍
Zeta-20是三维光学轮廓仪/光学轮廓显微镜。得益于卓越的三维成像和测量基于ZDot™专利技术，Zeta-20可以对近乎所有材料和结构进行成像分析，从超光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。多种光学测试模组使得Zeta-20适用性强，同时此设备可获得真彩图像。Zeta-20使用了模块化设计理念，为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求，所有硬件安装和操作都简单易用。
Zeta-20集合了六种光学测量模组。反射光谱膜厚分析使得它可以测量薄膜材料的厚度、折射率和反射率。干涉反衬成像技术可以实现纳米级粗糙度表面成像及分析。白光差分干涉有着埃级的惊人垂直方向分辨率。拥有专利的ZDot三维成像技术标配技术，此模式下样品反射率对测量影响小，小于0.5%到大于85%反射率的样品均可同时测量，可轻易获得台阶高度。多种功能下Zeta-20同时适用于研发机构或者工业生产中。
| 用户单位 | 采购时间 |
| 上海交通大学 | 2021/10/01 |
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