CMP20化学机械抛光机
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CMP20化学机械抛光机

参考价：面议
型号： CMP20
产地： 上海
品牌： 上海纳腾仪器
评分：
核心参数
上海纳腾仪器有限公司
金牌会员 丨 15年 丨 生产商
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产品详情


1、 设备介绍

通过将产品固定在抛光头的最下面，抛光时，旋转的抛光头以一定的压力压在旋转的抛光垫上，抛光液在抛光垫的传输和离心力的作用下，均匀分布其上，在硅片和抛光垫之间形成一层抛光液液体薄膜。抛光液中的化学成分与产品表面材料产生化学反应，将不溶的物质转化为易溶物质，或者将硬度高的物质进行软化，然后通过磨粒的微机械摩擦作用将这些化学反应物从产品表面去除，溶入流动的液体中带走，即在化学去膜和机械去膜的交替过程中实现平坦化的目的，通过先进的工艺可实现纳米级别的粗糙度效果。

支持存储多种抛光工艺，操作简单便捷，支持2/4/6寸产品抛光，可提供常见晶圆加工工艺，24小时内售后及时响应。



二、技术参数：

基础配置：

抛光头模块：气膜加压，个分区独立控制

摩擦力模块：利用电机电流表征摩擦力

样品加工能力：2/4/6英寸

抛光实现方式：触屏程序控制

抛光头下压力：0~4 psi（4英寸）

抛光头转速：0~300 rpm，连续可控

抛光盘转速：0~300 rpm，连续可控

修整器转速：0~300 rpm，连续可控

抛光头/修整器往复：行程90 mm，速度连续可控

抛光液：1路，蠕动泵供液，流速0~300 mL/min

去离子水：1路，蠕动泵供液，流速0~300 mL/min


升级配置：

电化学模块：电位范围±10 V，电流范围±250 mA，支持三电极、两电极体系，支持多种测量方法，如循环伏安法等。

紫外光模块：波长λ=95 nm的紫外光源、发光面积1020*100（mm）、耗电功率200W、相对光效2000W、能量峰值614mW。



三、案例

001.png‍‍

铜空白晶圆


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铜图案化晶圆


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铜/镍MEMS晶圆



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金属基底



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