常规椭偏仪通常只能对一点进行膜厚测量,而且单点测量也需要耗费时间,虽然也有可以做到自动扫描检测整个样品膜厚状况的手段,但是点数和时间以及精度往往无法满足工业客户的需求;
对客户的这一痛点日本Photonic lattic 通过以自研的偏振传感器为核心的新一代全检膜厚测量椭偏仪,可以做到1000点/分钟,6寸产品最快可以在3分钟内完成,不仅如此,ME-210-T针对透明基板也可测量。
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