| 型号： | Model 659 |
| 产地： | 美国 |
| 品牌： | OAI |
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45年来，OAI始终是紫外能量测试仪器领域的全球领导者，其仪器用于半导体、微机电系统、晶圆封装和晶圆植球行业中光刻工艺的可靠，精确校准控制。
Model 659是一款手持式紫外功率计，配有触摸屏和 USB 接口。通过使用特殊探头（365nm、400nm、420nm 和 436nm），可以测量主要用于步进应用的宽范围波长。
● 多达400个曝光参数
● 以太网和USB接口，用于下载记录的测量值
● 强度范围达7500mW/cm2
● 强度分辨率：0.01mW/cm2
● 探头波长：365nm、400nm、420nm、436nm
Model 659 型曝光分析仪，与晶圆步进光刻机配合使用，专为Ultratech Stepper等高强度光刻设备而设计（读数高达7500mW/cm2,1000000mJ/cm2'',最长9999秒）。可选择探头光谱响应：365nm、400nm、420nm或436nm.
OAI拥有完整的认证校准实验室，以确保仪器的性能，质量，和可靠性。Model 659 可追溯至NIST标准。
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