OAI研发型大面积曝光系统Model 212_价格_ 德国韦氏纳米系统有限公司

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Model 212 型大面积光罩校准器是一种经济高效的高性能光罩校准器，它采用 OAI 业经验证的组件进行设计，这些组件使 OAI 成为光罩

校准器行业的领导者。

Model 212 型是台式光罩校准器，只需最小的洁净室空间，并且只需最小的洁净室空间，并且为大面积基板、液晶显示器、薄膜

晶体管、面板级封装和OLED。

Model 212大面积掩膜对准器采用了OAI 紫外光源，可提供近紫外、中紫外或深紫外准直紫外光。

灯管提供近紫外、中紫外或深紫外准直紫外光，功率从 200 瓦到 2000 瓦不等。

恒定强度控制器相连，以控制曝光强度控制在所需强度的 ±2% 范围内。

Model 212系统参数:

Substrate Size Substrate Stage	X, Y Travel Z Travel	Up to 12” square or 300mm ±10mm 5mm
	Micrometer	.001”; .0001”
	Graduations	or .01mm; .001mm
	Rotation	±3.5˚
Mask	Size	Up to 14” x 14”
Lightsource	Beam Size	Up to 12” square
	Lamp Power	200, 350, 500, 1,000, and
		2,000 Watt NUV
		500, 1,000 and 2,000 Watt DUV
Shutter Timer	Timer	0.1 to 99.0 sec. at 0.1 second increments
		or 1.0 to 999 sec. at 1.0 second increments
Facilities	Electrical	110 or 220 vac
		(or other according to Power Supply requirements
		and Country)
	Vacuum	20 - 28” Hg.
	Air and N2 Exhaust	CDA at 60 PSI and N2at 20 PSI 0.35” to 0.5” Water
Dimensions	Height	42” (1067mm)
	Width	60” (1524mm)
	Depth	53” (1346mm)

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