| 型号： | EM-KLEEN |
| 产地： | 美国 |
| 品牌： | PIE Scientific |
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远程控制等离子清洗机 型号：EM-KLEEN
用于电子显微镜等分析仪器如SEM、FIB、TEM样品室的清洁、XPS和SIMS、ASE 系统 |
源于劳伦斯伯克利国家重点实验室的SmartCleanTM 技术，设计精巧，智能，功能强大 EM-KLEEN 构成： Pirani压力传感器 ：实时监测样品室压力，可以作为安全模式的安全联锁触发器，并未功能计数器加载事件 自动气体流量控制器 ：很容易真空抽到10-7 Torr，自动调节气体流量 等离子强度传感器 ：用户可实时监测等离子强度状态 温度传感器 : 提供联锁保护，防止长时间工作电源工作温度过高 冷却风扇 ：大功率风冷冷却，而不会导致电源过热 液晶触摸屏控制器 ：嵌入式微处理器，串联工作，自动控制系统，并为客户提供保护 |
如何在真空环境中清除碳氢化合物污染物？
应用领域
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SEM腔体清洗10分钟前后的变化对比 | |
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6分钟快速去除碳标记 | |
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| 用户单位 | 采购时间 |
| 深圳大学 | 2018/11/26 |
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