工艺电气仪

TriboLab CMP 利用其前身产品 （Bruker CP-4） 超过 20 年的 CMP 领域专业知识，为业界领先的 TriboLab 平台带来了一套完整的功能。基于本套设备产生的高精度和高可重复性使得在整个 CMP 流程中能够进行高效的鉴别、检查和连续功能测试。TriboLab CMP 是市场上唯一能够提供广泛的抛光压力 （0.05-50 psi）、速度（1 至 500 rpm）、摩擦、声发射和表面温度测量的工艺开发工具，可准确、完整地描述 CMP 工艺和耗材。用于 CMP 的小型研发规模专业系统布鲁克的TriboLab CMP工艺和材料表征系统是专为晶圆抛光工艺而设计，是具有可靠、灵活和高效的台式设备。重现全尺寸晶圆抛光工艺条件，无需在生产设备上停机提供无与伦比的测量可重复性和细节检测允许在小样品上进行测试，比全晶圆测试节省大量成本板载诊断系统可以更好地了解抛光过程比市场上任何其他系统提供更多的瞬态抛光过程的参数从接触抛光盘开始直至整个测试过程都能收集数据通过更完整、更详细的数据实现早期流程开发决策具有灵活的样品类型、尺寸和安装配置抛光任何平面材料，几乎能使用任何修正盘，任何抛光液，和任何抛光垫轻松使用 100 mm 以下的小尺寸晶圆可同时安装多个样品，测试更灵活

提高固体击穿电压的方法：1.改进绝缘设计：◆如采取合理的绝缘结构，使各部分绝缘的耐电强度能与共所承担的场强有适当的配合；◆改善电极形状及表面光洁度，尽可能使电场分布均匀，把边缘效应减到最小；◆改善电极与绝缘体的接触状态，消除接触处的气隙或使接触处的气隙不承受电位差。2.改进制造工艺： 尽可能地清除固体电介质中残留的杂质、气泡、水分等，使固体介质尽可能做得均匀致密。这可以通过精选材料、改善工艺、真空干燥、加强浸渍等方法来实现。3.改善运行条件： 如注意防潮，防止尘污和各种有害气体的侵蚀，加强散热冷却。4.参数介绍：1、输入电压：AC220V 50Hz 2、输出电压：AC：0～150kV； DC：0～150kV3、输出功率：15kVA4、测量范围：AC15～150kV； DC15～150kV5、测量误差： ≤2％6、升压速率： 0.5kV/s～10kV/s7、耐压时间：0～8H8、漏电流： 1～30 mA可由计算机软件自由进行设定9、电源 ：交流220V±10%的单相交流电压和50Hz±1%的频率10、试验环境温度：15 ～ 30℃，相对湿度：0～85%能够稳定运行。11、外形尺寸长×宽×高：1980mm×1220 mm×1750mm（参考）12、设备自重：1500Kg（参考）13、接地要求仪器需要单独接地，接地附合国家标准要求，金属棒深埋地下至少要1.5米以下14、型号：ZJC-150kV绝缘的老化：电气设备中的绝缘材料在运行过程中，由于受到各种因素的长期作用，会发生一系列不可逆的变化，从而导致其物理、化学、机械和电气等性能的劣化，这种不可逆的变化称为绝缘的老化。促使绝缘老化的因素：（1）物理因素：电、热、光、机械力等；（2）化学因素：氧气、臭氧、盐雾、酸、碱、潮湿等；（3）生物因素：微生物、霉菌等。1、环境老化也称大气老化，包括光氧老化、臭氧老化、盐雾酸碱等污染性化学老化。对有机绝缘物，环境老化尤为显著。太阳光到达地面时，紫外光辐射仍很强烈。若有机绝缘物吸收的紫外线能量大于其化学键的电离能，则键断裂，造成老化。当存在氧气或臭氧时，还会引发高分子的氧化降解反应，称为光氧化反应。在高压电气装置的某些部分，常存在不同程度的电晕或局部放电，此处的臭氧含量较高。臭氧与某些有机绝缘物相互作用，可生成氧化物或过氧化物，导致主键断裂，造成老化。含有酸、碱、盐类成分的污秽尘埃与雨、露、雪、霜结合对绝缘物有腐蚀作用。延缓环境老化的方法：改善绝缘材料本身的性能。如在材料中加光稳定剂（反射或吸收紫外线）、抗氧化剂以及使用防护腊等。此外应注意加强高压电气设备的防晕、防局部放电的措施。2、电老化电介质在电场的长期作用下，其物理、化学性能发生劣化，导致其耐电强度降低的现象，称为电老化。介质电老化的主要原因是介质中的局部放电。局部放电引起固体介质腐蚀、老化、损坏的原因有：局部电场畸变。使局部介质承受过高的电压；带电质点撞击气泡壁，造成绝缘物分解；化学腐蚀。气隙电离产生O3、NO、NO2等气体，遇水会产生硝酸或亚硝酸，对绝缘材料和金属有氧化和腐蚀作用；在局部放电区，产生高能辐射线，引起材料分解；局部温度升高。造成热裂解，气隙膨胀而使固体绝缘开裂、分层、脱壳，且使该部分绝缘的电导和介质损耗增加。交流电压下：每半周至少发生两次局部放电。直流电压下：当气隙中的场强大于放电起始场强时，虽然也发生局部放电，但由此生成的正、负离子在电场作用下运动到气隙壁上形成与外施电场相反的空间电荷电场。空间电荷电场使气隙中的合成场强下降，放电可能熄灭。待气隙中的离子经过气隙表面的电导互相中和后，气隙中的场强又提高到放电起始场强，才发生第二次放电。由于气隙表面漏导很小，离子的中和需要较长时间（常以秒计），因此直流电压作用下局部放电的危害较交流时小。各种绝缘材料耐局部放电的性能有很大差别：云母、玻璃纤维等无机材料有很好的耐局部放电能力。旋转电机采用云母、树脂作为绝缘材料；有机高分子聚合物等绝缘材料的耐局部放电的性能比较差。由于各种上述原因，许多高压电气设备都将其局部放电水平作为检验其绝缘质量的重要指标之一。3、热老化在较高温度的长期作用下，绝缘性能也会发生不可逆的劣化，这就是电介质的热老化。温度越高，绝缘老化越快，寿命越短。介质的热老化过程：固体介质的热老化过程受热→带电粒子热运动加剧→载流子增多→电导和极化损耗增大→介质温度升高→加速老化液体介质的热老化过程油温升高→氧化加速→油裂解→分解出多种能溶与油的微量气体→绝缘破坏热老化的象征： 大多表现为介质失去弹性、变脆、发生龟裂，机械强度降低，也有些介质表现为变软、发黏、失去定形、液体酸价升高。同时介质的电气性能变坏。热老化的程度主要决定于温度及热作用的时间。为使绝缘材料有一个经济合理的工作寿命，应找出与之相应的最高允许工作温度。所谓最高允许工作温度，指绝缘即使持续地在此温度下工作，仍有一定的、经济合理的工作寿命。最高允许工作温度须经综合经济技术比较后才能大致确定。IEC将各种电工绝缘材料按其耐热程度划分等级，并确定各等级绝缘材料的最高允许工作温度，即：O (Y)级90℃、A级105℃、E级120℃、B级130℃、F级155℃、H级180℃、C级180℃。绝缘材料的使用温度超过规定温度，则劣化加速。热老化8℃规则：对A级绝缘介质，如果使用温度超过规定值8℃时，寿命约缩短一半。相应的对B级绝缘和H级绝缘则分别为10℃和12℃。4、机械老化固体介质在各种机械力的作用下会产生裂缝并逐渐扩大，从而导致介质的绝缘性能下降。若裂缝中发生局部放电，介质损坏速度加快。对于绝缘子来说，温度的突变也会产生内部应力。对于电机绝缘来说，机械力的作用对绝缘老化也有很大的影响。绝缘老化小结电气设备的使用寿命一般取决其绝缘的寿命，后者与老化过程密切相关。绝缘老化的原因主要有热、电和机械力的作用，此外还有水分、氧化、各种射线、微生物等因素的作用。各种原因同时存在、彼此影响、互相加强，加速老化过程。

胶带电气强度试验仪GB/T 1695-2005前言本标准对应于美国军用材料与试验协会标准ASTM D149-97a《固体电绝缘材料工频击穿介电强度和击穿电压的标准试验方法》,与ASTMD149-97a的一致性程度为非等效。本标准代替GB/T 1695-1981(1989)《硫化橡胶工频击穿介电强度和耐电压的测定方法》。本标准根据ASTMD149--97a对GB/T 1695-1981(1989)进行了重新修订,本标准与ASTMD149--97a的主要技术性差异如下:一ASTM D149-97a的适用范围广,它是针对固体绝缘材料工频击穿电压和介电强度的测定，本标准与ASTMD149-97a在电极材料、电极尺寸、试验装置等技术内容上基本一致。-根据验证试验,保留了GB/T1695-1981(1989)标准中取中位数的规定,这一点不同于ASTM D149-97a取平均数的规定。一一本标准只对橡胶材料而言,只规定了两种类型的电极、两种升压方法。本标准与标准GB/T 1695-1981(1989)相比,主要内容变化如下:一本标准增加了前言 --本标准增加了警示语 一本标准增加了2规范性引用文件 一本标准增加了3术语和定义 一-本标准在4.5.2增加了一种板状电极 一-本标准在4.6增加了对试样厚度测量装置的要求。本标准由中国石油和化学工业协会提出。本标准由全国橡标委橡胶物理和化学试验方法分技术委员会(SAC/TC35/SC2)归口，本标准起草单位:西北橡胶塑料研究设计院。本标准主要起草人:朱伟、陈芝秀、王朝。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:GB/T1695--1981(1989)。胶带电气强度试验仪仪器故障自动报警系统是操作人员安全更加有保障。（当线路有故障时仪器会自动报警更大保护人员安全 此报警系统属于故障报警和试验放电报警、软件报警无关）配备网络端口共享功能 让更多人员操作试验试验结果存储办公电脑使报告更加清晰简单（其原理就像共享一台打印机一样方便）操作界面：细心的用户能从实验软件图上看到 电流实时采集于其他厂家不同是我司电击穿仪器精度可以采集实时电流并且绘制曲线其他厂家因为采集精度差无法实现电流绘制曲线采集 控制功能1.该设备试验过程中可动态绘制出试验曲线，试验的曲线可以多种颜色叠加对比。2.可对试验数据进行编辑修改，灵活适用 3.试验条件及测试结果等数据可自动存储 4.试验报告格式灵活可变，适用于不同用户的不同要求。5.可对一组试验中曲线数据的有效与否进行人为选定。6.试验结果数据可导入EXECL。7. 软件设备人员管理功能，在试验人员可设置自己的试验项目和试验参数，设置自己的试验内容后别人无法进入等功能。薄膜电压击穿试验仪定义：电气击穿：式样在承受电应力作用时其绝缘性能严重损失，由此引起试验回路电流促使相应的回路断路器动作。击穿通常是由式样和电极周围的气体或者液体煤质中的局部放电引起，并使得较小电极或者等径两电极边缘的式样遭到破坏。闪络：式样和电极周围的气体或者液体煤质承受的电应力作用时，其绝缘性能损失，由此引起的试验回路电流促使相应的回路断路器动作.碳化通道的出现或者穿透式样的击穿可用于区别试验是击穿还是闪络。击穿电压：在连续升压试验中在规定的试验条件下，式样发生击穿时的电压。式样承受的高电压在该电压水平下整个时间内式样不发生击穿。电气强度：在规定的试验条件下，击穿电压与施加电压的两电极之间的距离商。得到的电气强度试验结果。能用来检测由于工艺的变更，老化条件或者其他的制造环境情况引起的性能相对于正常的值的变化或者偏离，而很少能用于直接确定在实际应用中的绝缘材料的性能状态。材料的电气强度测试值可受如下多重因素影响；式样的状态a，式样的厚度和均匀性，是否存在机械应力；b，式样的预处理，特别是干燥和浸润过程c，时都存在空隙。水分或其他的杂质。胶带电气强度试验仪电极规格：满足GB/T 1408.1-2006标准要求（材质为黄铜）1、片材电极 ￠25mm 两个 片材电极 ￠75mm一个 （标配）2、漆包线电极 两个（选配）3、管用电极 两个（选配）如何选择合适的测试电极：测试电极的规格有很多，针对不同材料和规格选择不同的电极尺寸，具体根据材料测试所要求的测试标准，如果标准里没有特殊要求，通常测试板材类的材料时使用zui多的测试电极是等径和不等径电极。整机组成1、升压部件：由调压器和高压变压器组成0～50KV的升压部分。2、动部件：由步进电机均匀调节调压器使加给高压变压器的电压变化。3、检测部件：由集成电路组成的测量电路。通过信号线把检测的模拟信号和开关信号传给计算机。4、计算机软件：通过智能电路把由检测设备采集的测控信号传给计算机。计算机根据采集的信息控制设备运行并处理试验结果。5、试验电极：根据标准(1408.1-2006)随设备提供三个电极，具体规格为：Ф25mm×25mm两个；Ф75mm×25mm一个。Ф25mm×25mm两个；Ф75mm×25mm一个。操作步骤：1、试验前的准备：1）打开试验机右侧的总电源开关,预热15分钟。2）打开计算机进入Windows系统。双击本仪器软件的快捷图标打开试验登录界面输入登录密码即可进入试验界面。1）本仪器高压输出为交流电压。2）前面板直流交流选择按钮。3）试验的交直流电压切换，主要取决于高压绝缘塔中的短路杆是否取出。4）在直流试验时，计算机也要选择直流状态，否则测的结果是不正确的。胶带电气强度试验仪③调压器复位开关④试验箱门安全开关⑤高压变压器输入侧限流空开⑥漏电保护开关七、保护功能具有完善的安全防护措施：电路保护控制：跳闸后电压自动回零a、 超压保护b、 试验过流保护c、 试验短路保护d、 安全试验门保护e、 软件误操作保护f、 零电压复位保护g、 试验漏电保护h、 接地保护i、 试验结束放电保护j、 设备故障报警保护胶带电气强度试验仪计算机系统及软件包试验软件是我公司新研发的功能强大、操作简单、显示直观的试验软件系统。本仪器采用计算机控制，过人机对话方式，完成对、绝缘介质的工频电压击穿，工频耐压试验。本仪器属我公司首创，为我公司产品，号：ZL02281003.X.1、试验过程中可动态绘制出试验曲线，试验的曲线可以多种颜色叠加对比，局部放大，曲线上任意一段可进行区域放大分析；2、可对试验数据进行编辑修改，灵活适用；3、试验条件及测试结果等数据可自动存储；4、试验报告格式灵活可变，适用于不同用户的不同需求；5、可对一组试验中曲线数据的有效与否进行人为选定；6、试验结果数据可导入EXECL,WORD文档编辑；7、软件设备人员管理功能，试验人员可设置自己的试验项目和试验参数，设置自己的试验内容后别人无法进入程序；8、过电流保护装置有足够的灵敏度，能够保证试样击穿时在0.1S内切断电源；9、仪器运行的持久性: 仪器可连续运行使用，不需为保护仪器而定期停机。六、高压击穿设备安全说明：1、设备要安装单独的保护地线。接保护地线，主要是减少试样击穿时对周围产生的较强的电磁干扰。也可避免控制计算机失控。2、直流试验放电报警功能:在设备做完直流试验时,当开启试验门时设备会自动报警,直至使用设备上的放电装置放电后报警会自动取消.(注：因为直流试验后不放电会危险到人身安全,不能直接拿取电极,起到提醒使用人员放电以免造身伤害)。3、试验放电装置，随主机为一体化，改进了以往单独配备一根放电杆的功能。4、该试验设备的电路设有多项保护措施，主要有：过流保护、失压保护、漏电保护、短路保护、直流试验放电报警等。