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[b]特种气体工艺系统一般性要求 [color=#00b0f0] [/color][/b]一般工艺气体都是储存在钢瓶中,钢瓶作为气源相对方便使用。过去无论是在半导体生产车间,抑或是科研单位的实验室,钢瓶总是出现在需要的地方,而没有一个统一的规划布置。随着半导体行业的蓬勃发展,对其配套项目也提出了更高要求。比如在集中供气系统中一般要有专用装置储存钢瓶,在过去十多年中,盖斯帕克没有发明集中供气之前,特种气体供应没有形成有效的系统,钢瓶凌乱,管理混乱,不相容气体混放等问题比较严重,极大的影响到用气安全。彼时,随着半导体、微电子行业的发展壮大,特气系统的工艺要求也越来越规范,本文从宏观方面探讨整个系统设计初期需要注意的问题。特种气体工艺系统的硬件需求:储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格。气体分配用阀门箱、阀门盘。辅助氮气吹扫系统。尾气处理装置。工艺气体的储存方式比较多样,有槽车、鱼雷管拖挂车、集装格、杜瓦罐、各类储罐等。实验室、科研单位、一般半导体生产厂用的特气多用钢瓶存储。特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特气工艺的参数、污染控制、使用安全的要求。不相容的特种气体的排气管道不应该接入同一排气系统。不相容的特种气体的排风管道不应接入同一排风系统。
[align=left][color=#000000] 根据浙编办函〔2019〕117号文件,7月9日,浙江省特种设备检验研究院更名为“浙江省特种设备科学研究院”,并增加了科学研究、公共服务、职业教育、安全风险评估、事故分析预警及鉴定等新职责。浙这一承前启后的转变,标志着该院自我转型的改革成果和履职模式得到了认可和固化。[/color]浙江省市场监督管理局副局长、党委委员马剑平,副巡视员朱飞共同为浙江省特种设备科学研究院(以下简称省特科院)揭牌。省特科院全体班子成员及中层正职以上干部参加了揭牌仪式。 此次更名,是浙江省编办对省特科院五年来自我转型改革的充分肯定。为克服事业单位体制下特检机构普遍存在的功能弱化和人财不足的两难问题,2014年省特科院以原省质监局内部人事综合改革试点为契机,通过大刀阔斧的内部机制和职能转型改革,探索了新形势下特检机构强化公益属性和促进自身发展相辅相成的实现路径,有效解决了“激励机制不活、发展动力不足、工作效率不高”的传统体制弊端,也有效规避了市场化改革“公益履职弱化、检验质量风险提升”的新矛盾,走出了一条符合新时代发展要求的“‘六位一体’系统保安全和服务产业发展的质量安全公共服务综合体”的改革创新之路,推动了机构发展壮大,全面提升了机构保障安全和服务社会的贡献率。 五年来,省特科院不忘初心、牢记使命,以特别能吃苦、特别能战斗、特别能奉献、特别能攻关的“四特”精神,推进院综合发展实力显著提升。硕士及高级职称以上高层次人员增加了67%,院净资产增加了135%,其中科研仪器设备资产原值增加了178%;公益履职能力明显增强,建成了全国一流的国家电梯质检中心、筹建定位高端产业发展的国家特种金属结构材料质检中心。建立了全国首家特种设备学院和首个国家特种设备安全科普(普法)教育基地。获批工信部的国家工业节能与绿色发展评价中心,是目前全国同行中最早拥有“安全、节能、环保”三位一体检测能力的单位之一;品牌形象进一步树立,先后获得“全国科普工作先进集体”、“全国示范院士专家工作站”、“全国质量之光卓越技术机构”、“全国质量监督检验检疫系统服务G20先进集体”、“全国工人先锋号”、“全国青年文明号”、“全国模范职工之家”、“全国青少年维权岗”、“浙江省五一劳动奖状”、“杭州市文明单位”等多项荣誉,多项工作分别获得省委省政府主要领导、国家市场监管总局领导的批示肯定。[color=#000000][/color][/align][align=left][color=#000000] “从‘检验’到‘科学’,定位更科学,履职更全面,体现的是整体工作思路、发展理念的跨越。”该院相关负责人介绍,自开展机构职能改革后,该院以法定检验为基础,建立了集保障安全、服务产业、节能环保、职业教育、普法科普、科学研究6个方面为一体的新模式,全过程、全方位履行公益职责,实现了检验、安全与环保节能联动保障。[/color][/align][align=left][color=#000000] 仅仅两字的转变来之不易。为达成这一转变,浙江省特科院已努力探索整整5年。此前,该院传统业务模式比较单一,主要通过检验尤其是法定检验来保障特种设备安全,为政府特种设备安全监察提供技术支撑。而随着特种设备新技术发展、产业转型升级和特种设备安全需求的不断提升,单一的检测检验已难以适应质量安全和产业发展新形势。大量与特种设备安全相关联的公益工作没有机构去做,系统保障安全的综合能力无法向更高的水平提升。[/color][/align][align=left][color=#000000] 面对职能滞后于需求的现实,浙江省特科院把目光投向问题源头,开始研究思考多层次系统性的解决方案。2014年,因时应势开始主动转型,确立了“六位一体”系统保安全的新理念,积极构建公共服务综合平台服务产业发展。[/color][/align][align=left][color=#000000] “这之后,我们陆续建成了全国唯一的国家特种设备安全科普教育基地(普法基地)、两大服务产业的国家质检中心、全国首家特种设备学院与国家工业节能与绿色发展评价中心。”浙江省特科院相关负责人介绍,在完成检验机构法定公益职责的前提下,深挖技术装备和专业人才的潜能,构建以增值性公共服务营业收入反哺公益法检业务和事业发展的自我造血机制,突破了靠政策、靠跑量的粗放型发展模式瓶颈。[/color][/align][align=left][color=#000000] 在履职模式转变过程中,“特种设备安全顾问服务”成为具有代表性的一项业务内容。“在鱼山大桥建设工程27个月的工期中,30多台套关键设备未发生故障,确保了制梁、吊梁、架梁过程‘零延误’,为实现‘鱼山速度’提供了重要保障。”该院相关负责人介绍,5年来,已向投资概算合计1200多亿元的工程项目提供该项服务,检查及分析各类特种设备3600多台,排查出了一大批安全隐患,有力保障了重大项目的安全投产。[/color][/align][align=left][color=#000000] 思路的转变与革新,让浙江省特科院公益履职能力明显增强,服务产业能力走在了全国同行业前列。最近5年累计检验检测设备50余万台套,排除各类重大缺陷(隐患)3000余例,特种设备万台事故率和死亡率不到全国的1/4。国家电梯质检中心、国家特种金属结构材料质检中心为相关产业发展持续贡献特检力量,依托科普教育基地与专业学院,特种设备公众教育能力更是不断提升。[/color][/align][align=left][color=#000000] “六位一体”工作模式让各个业务板块相互促进。检验需求和检验积累让科研更容易出成果,科研成果又让检验更有效率、更精准。职业教育让检验和科研更加了解行业需求,同时能将最新成果快速应用到行业之中。该院工作人员介绍:“仅以电梯为例,目前已实现19个品种电梯整机和20个品种电梯部件检测能力,形成针对高温、高压、深冷、临氢、核辐射等极端条件下使用的承压类特种设备材料,以及耐高温、耐低温、耐真空、抗加速的航天航空用轻质金属材料和复合材料的检测试验能力,在全国同行业中处于领先水平。” 省特科院将以此次更名为契机,把初心和使命转化为思想、政治和行动自觉,继续巩固深化综合改革成效,进一步提高机构要素资源利用率、激发机构内部活力、增强机构公益履职能力,打造一个高水平的“六位一体综合服务体”,为浙江经济社会高质量发展和人民高品质生活作出新贡献![/color][/align][align=center][color=#000000][img=,,400]http://www.zjtj.org/cms/fileUpload/images/201907091114484.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#000000][img=,,400]http://www.zjtj.org/cms/fileUpload/images/201907091115027.jpg[/img][/color][/align][align=center][color=#000000][img=,,400]http://www.zjtj.org/cms/fileUpload/images/201907091115173.jpg[/img][/color][/align]
[b]特种气体系统的安全设施[/b]特气系统需要有配套的安全设施,不同于侦测器、火焰探测器这些标准配置的主动式安全设施,还需要有门禁、CCTV系统、管理显示屏、通道指示、各类报警灯等辅助安全设施。在特气的储存、分配及使用场所的安全设施应设置闭路电视监控摄像机和门禁。生产厂房入口处、气瓶柜间入口处、洁净室内宜设置安全管理显示屏,使用场所内及相关建筑主入口、内通道等处应设置灯光闪烁报警装置,灯光颜色应与其他灯光报警装置相区别。入口处应设置紧急手动按钮,应急处理中心室也应设紧急手动按钮。[img=,690,690]https://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2019/09/201909191122378303_4235_3989203_3.jpg!w690x690.jpg[/img][b]特气系统的辅助安全设施:[/b]1. 所有的按钮、阀门应贴有明显标识与安装保护装置,防止有人乱按误操作或者不小心碰到不该碰的按钮。2. 在地震多发地区,使用特种气体的主要生产车间宜设置地震探测装置,地震信号应接入特种气体探测系统。3. 特种气体站房地震探测装置应在气瓶柜的基座上设置一台,并应以气体站房为基准点,等距离三角形延伸厂区内另外两点设置地震探测装置。地震探测装置不得设置于人员进出频繁的地点,且应避免受外力干扰而造成误动作。封闭的可燃性、自燃性气体的特种气体间宜设置防爆紫外、红外火焰探 测器。特种气体站房应配置防毒面具等安全防护设施。4. 特种气体站房、生产车间、储存、分配场所等需要的安全措施随着特气行业在科研、半导体行业日新月异的发展要求不断升级,未来随着物联网、WEB3.0时代的到来,特气行业的安全肯定又上升到另外一个高度。