地面式平台

ZDVT系列桌面型气浮隔振光学平台说明： ZDVT 系列为卓立汉光研发的桌面型气浮隔振光学平台，采用半膜片式空气弹簧技术，配合铁磁不锈钢台面和桌面型框架精密装调而成， 整体高度211mm，分为气浮式桌面型框架和台面两部分。台面整体为三层夹心式蜂窝结构，采用焊接工艺（非胶粘工艺），没有松动、开裂、脱落等困扰。上台面材料为SUS410 铁磁不锈钢，具有较好的耐腐蚀性能。厚度根据尺寸设计为：50mm，具有很好的硬重比和刚性。台面采用精密磨削工艺，台面的平面度达到0.02 ～ 0.05mm/600mm×600mm， 台面上按照25mm×25mm 孔距均布M6 螺纹孔，方便安装各类位移台和调整架。桌面型框架采用半膜片式空气弹簧，支撑内部配有二级气室，下方为阻尼隔振垫，隔振性能较好，固有频率一般小于3Hz。调整水平机构：桌面型框架视窗部位具有三个水平调节阀，可以调整台面水平，ZDVT 系列平台体积较小重量较轻，方便移动和调整。应用：小型光学系统，如光学显微镜，硬度计，圆度测量仪，测速仪，分析天平等。适用隔振要求较高，空间要求较小的场合。 ZDVT系列桌面型气浮隔振光学平台特点： 桌面型框架视窗部位带三个水平调节阀，方便调整桌面水平 台面材料为SUS410铁磁不锈钢，具有较好的耐腐蚀性能 OTBB系列的铁磁不锈钢面包板作为台面，台面厚度50mm，具有很好的厚重比和刚性 配备小型的半膜片式空气弹簧，重量轻，设计紧凑，方便客户安装及移动 自动充气，自动平衡 ZDVT系列桌面型气浮隔振光学平台技术指标： 自动充气，自动平衡，响应时间短，平衡速度快 固有频率：＜3Hz(@100KG)，同负载和实际使用情况相关 标配静音无油空气压缩机，工作压力：3～4.5Kg/cm2 气浮支撑：半膜片式空气弹簧，支撑腿内部还有二级气室，进一步提升隔振性能，3个水平调节阀响应时间短，平衡速度快 最大负载200kg 台面结构：三层夹心式蜂窝结构，采用焊接工艺 上台面：4～6mm厚SUS410铁磁不锈钢 台面内部支撑：钢制井字形蜂窝状支撑结构，焊接工艺，强度高 下底面：4～6mm厚碳钢，表面喷黑塑处理 侧板：内层碳钢板，外层为黑色铝塑板，美观、实用，四角用不锈钢板包角 平面度：0.02～0.05mm/600mm×600mm，高于国外同类产品 台面加支架总高度211mm（常规品无高度调整功能，可选配件地脚增加-10+15mm高度调整量） 孔距：25mm×25mm 孔径：M6 重量：50mm厚台面约：110Kg/m2 细节说明 选型表 产品型号整体规格（mm） 台面厚度(mm) 台面自重（Kg） 支撑腿截面积(mm) 框架负载能力(KG) 备注ZDVT06-06 670×670×211 50 39.6 200×200 200 4支撑ZDVT08-06 870×670×211 50 53 200×200 200 4支撑 型号外形尺寸/mm 台面尺寸/mm L1 W1 L2 W2 ZDVT06-06 670 670 600 600 ZDVT08-06 870 670 800 600

TMC地面式主动隔振平台STACIS Quiet Island半导体制造工厂、纳米技术中心、纳米工厂和其他精密制造和研究中心通常将洁净室与活动假地面系统结合在一起，以满足复杂的设施要求（管道、电缆、燃气管道等）和保持严格的清洁标准。这种地面不适用于对振动敏感的生产、检测和计量设备。活动地面无法为这些工具提供必要的安静振动环境。TMC的Quiet Island用一个固定在下面底层地面上的“安静岛”替换一部分活动地面区域，提供了一种创新的解决方案。Quiet Island包括一个兼容洁净室的平台顶部和一个应用和现场特定的支撑结构。消振Quiet Island*的主要支撑元件和核心技术都集成在STACIS III主动消振系统中。这种“刚性”式惯性消振支撑系统是任何振动敏感型仪器的理想选择，它使此类工具能够在嘈杂的环境中以*高标准运行。STACIS III兼容自动化晶圆加工工具、高分辨率电子束成像工具、离子束铣削工具以及任何带有被动或主动内部隔振系统的工具（请参阅我们关于在主动隔振器上堆叠主动隔振器的白皮书）。此外，它还提供了*宽频率范围内的*大隔振性能。并且“硬安装”设计非常坚硬，因此对于较高、上重下轻的工具，不会出现稳定性问题。立管和支架用于支撑STACIS隔振器的极其坚固耐用的立管由TMC经验丰富的工程团队设计，并由我们的ISO 9001工厂按照高标准和焊接认证规格制造。每个Quiet Island都经过精心设计，适合各种活动地面高度、底层地面几何形状和工具尺寸。TMC在全球安装了数千个支撑200多种不同仪器型号的装置，拥有丰富的知识和经验，可以设计满足STACIS和您设施需求的支撑结构。刚性平台该平台由一个经TMC设计和制造的4英寸（100毫米）厚的钢板夹层组成，其中钢板夹在一种轻质、不可压缩、阻尼的芯材料周围。刚性钢板和芯用环氧树脂粘合到一个无缝不锈钢盘中的分层效果提供了极高的刚度和结构阻尼。大横截面和钢含量产生了非常高的整体刚度。顶部和侧面是一个连续的一体式不锈钢外壳，以保持清洁、美观和完整性。TMC可根据需要设计和制造特定于应用的平台，包括切口、特殊形状、固定孔和吊环螺栓。Quiet Islands vs. Quiet BuildingsDesigning a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at "as built" and two times thereafter. It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration .TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing "Quiet" Buildings article on AZO Nano.1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005,2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005.Quiet Island的优势采用STACIS - TMC业界*的主动压电消振技术、“硬安装”设计和始于0.6 Hz的隔振与内置隔振器的工具兼容。模块化、定制和重新定位的灵活性 - 每个平台都根据客户的应用量身定做，但与混凝土平台不同，如果工具或地面特性发生变化，这些平台可以很容易地重新进行配置。专业知识 - TMC拥有与世界*的半导体制造商、科研机构和超精密OEM合作的丰富经验。我们了解客户及其需求。我们自己设计和制造。性能在24英寸高、40英寸 x 60英寸的Quiet Island、4座STACIS支架上、来自地面的VC-C输入下测量传递率规格性能规格主动自由度6主动带宽0.6 Hz - 150 Hz被动固有频率18 Hz垂直和水平有效的主动共振频率0.5 Hz1 Hz时的隔振40% - 70%≥2 Hz时的隔振≥90%10磅（4.5千克）步进输入后的稳定时间（减少10:1）0.3秒内部噪音0.1 nm RMSd每个隔振器的工作负载范围低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）刚度（1000磅/454千克质量、中等承重能力隔振器）40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)从距离隔振器*大4英寸（102毫米）处发射的磁场0.02 μG broadband RMSd隔振器设计、尺寸、环境和效用要求环境和安全符合CE和RoHS标准主动隔振元件*小承重能力为3300磅（1500千克）的压电致动器接收来自高压放大器的信号，其输出高达800 VDC。垂直执行器支撑隔振的有效载荷被动隔振元件单个硬质各向同性弹性体（无需压缩空气源）振动传感器元件向下的地震检波器型惯性传感器，用于测量隔振器下方的地面振动，并提供与振动运动速度成正比的电压主动反馈控制回路在支撑隔振表面的弹簧下方测量、处理和衰减地面振动隔振器尺寸（宽x深x高）11.75 x 12.5 x 10.8英寸300 x 320 x 275 毫米隔振器重量75磅（34千克）工作温度50° - 90° F10° - 32° C储存温度-40° - 130° F-40° - 55° C湿度30 - 60%系统电源要求100、120、230、240 VAC50/60 Hz AC； 600 W符合CE标准地面位移480μin. (12μm) below 10Hzd每个系统的隔振器数量*少3个可选附件层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、提升罩DC-2020控制器规格尺寸（宽 x 深 x 高）19 x 8.5 x 1.75英寸483 x 216 x 45 mm重量6.3磅（2.9千克）处理器150/75 MHz双核采样率10 kHz模拟输出16个通道模拟输入16个通道状态灯单个LED前面板端口1个串行USB 2.01个串行Micro-USB1个以太网RJ-452个BNC后面板端口1个串行USB 2.01个以太网RJ-451个RS-232 DB-9传统串行，用于传统的STACIS 2100隔振器用户界面前面板液晶显示屏超级终端上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI嵌入式以太网GUI其他参数平台表面不锈钢表面顶部和侧面；环氧涂漆钢底部平台结构专有的多层层压钢板尺寸量身定制标准高度15、18、20、24、30、36、48英寸38、46、51、61、76、91、122厘米还可提供定制高度负载能力量身定制刚性立管和支架获认证的焊接、全钢结构，与洁净室兼容的粉末涂层表面可选附件限制支架、平台顶部吊环螺栓，用于格子式底层地面的桥板平台顶部版本切口、通孔、用于固定工具的螺纹孔其他Quiet Island配置不具有环境振动规格的大型仪器通常需要一个与活动地面分开的刚性且稳定的支架。刚性Quiet Island是理想的解决方案。刚性Quiet Island具有相同的高性能平台顶部，也可为任何高度、任何底层地面几何形状的活动地面洁净室以及各种工具尺寸定制设计。TMC提供一系列不同类型的支柱，以满足各种需求，从而形成了特定于仪器和工厂的模块化、可灵活地重新定位和升级的解决方案。应用照片由于安装在我们Quiet Island底层地面平台上设备的复杂性、敏感性和价值，我们未创建用于订购的标准目录号。我们认为应为特定应用定制设计每个平台。建议的订购步骤如下：●告诉我们您要隔离的设备或仪器。由于我们已安装了成千上万的装置，我们可能已有满足您应用要求的平台设计。此外，我们还与步进器、对准器、SEM和其他工具制造商保持密切联系，因此，我们了解*新的尺寸、形状、重量变化和地面振动规格。●或者，您可能想要一个适合活动地面网格系统的平台。客户通常选择47 x 47英寸（1,190 x 1,190毫米）的平台来替换偶数块地砖。●告诉我们您的活动地面高出坚实底层地面的高度。●请向我们描述或提供一个显示您底层地面或钢梁/格子板几何形状中的任何孔图案的插图。●请向我们提供地面振动数据或与我们讨论如何安排测量这些数据。●考虑仪器的振动灵敏度。我们的刚性、非共振支柱设计为许多工具提供了充分的支撑。更敏感的应用将需要空气或压电支撑

SEM-Base VI是TMC STACIS主动压电振动消除产品系列的新一代产品。SEM- Base VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜（SEMs）、多数聚焦离子来显微 镜（FIB）及小型双尤来设备。SEM-Base VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器，带有高级图形用户界面（GUI）。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。SEM-Base VI采用独特串联结构，振动传感器测量的是地面振动，不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器，在测量亚Hz振动时具有很大的敏感度。加上TMC独特的压电致动技术，SEM-Base VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。相比之前的SEM-Base版本，SEM-Base VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB，而且采用了TMC新一代控制器DC-2020，采用新式双核处理器，为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面，可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时，DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面，无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的菜单驱动液晶屏（LCD）直接进行控制。TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI优势:硬式装载技术SEM-Base VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统，从0.6Hz开始主动强力消减地面低频振动。主动惯性振动消除SEM-Base VI采用高灵敏度的低频惯性速度传感器，即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。串行设计与压电技术独特串行设计加上高强度压电专利技术，SEM-Base VI不但达到了宽至0.6Hz-150Hz的主动带宽，更实现了无与伦比的惯性主动振动消除，2Hz以上的振动衰减可达 90%以上。完全集成式的单平台设计SEM-Base VI设计与制造的集成化，将安装平台的工作简化，简单的定位与设置之后即可正常工作。NOTE：可选SEM-Closure，专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X，保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base VI特点：STACIS专利技术主动惯性振动清除系统895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM负载能力：408-1134kg (900-2500 lb.)隔振效率1Hz:40-70% 隔振效率经2Hi:90% 隔振效率＞3Hz:90-98%6个主动自由度安装容易，调试简单兼容所有设备内直的振动隔离系统电源：100-240VAC, 50/60Hz, 600W是否需要空气：非气浮系统CE与RoHS认证完全集成式的单平台设计可安装脚轮，轻松便携移动，无需搬运兼容SEM-lift系统SEM-Base VI 性能规格：Active degrees of freedom6Active bandwidth0.6 Hz - 100 HzPassive natural frequency12 Hz nominalEffective active resonant frequency0.5 HzIsolation at 1 Hz40% - 70%Isolation at 2 Hz90%Isolation at ≥3 Hz90-98%Internal noise0.1 nm RMSOperating load rangeStandard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg)High capacity: 2,500 - 3,200 lbs (1134 - 1452 kg)Static lift capacity12,000 lbs (5454 kg)Magnetic field emittedat maximum 4 in.(102 mm)from the platform0.02 μG broadband RMS隔离器设计，尺寸，环境和实用要求Environmental and safetyCE and RoHS compliantActive isolation elementshigh-force piezoelectric actuators that receive signalfrom a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDCPassive isolation elementsingle stiff elastomer (no compressed air supply required)Vibration sensor elementsdownward facing geophone type inertial sensorsthat measure floor vibration below the isolatorand deliver voltage proportional to the velocity of vibration motionActive feedback control loopFloor vibration is measured, processedand attenuated below the springsupporting the isolated surfaceDimensions (WxD)35.25 x 44.25 in.895 x 1124 mmHeight6.3 in. (160 mm) nominal,doesn' t change when SEM-Base is switched offOperating temperature50° - 90° F10° - 32° CStorage temperature-40° - 130° F-40° - 55° CHumidity (operating)30 - 60%System power requirements100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC 600 WCE compliantFloor displacement800 μin. (20 μm) below 10 Hz内置控制器规格Processor150/75 MHz dual coreSampling rate10 kHzAnalog outputs16 channelsAnalog inputs16 channelsStatus lightsingle LEDFront panel ports1x serial USB 2.01x serial Micro-USB1x Ethernet RJ-452x BNCUser interfaceFront panel LCD displayCharacter menu on HyperTerminalExtended GUI for Microsoft WindowsEmbedded Ethernet GUI性能曲线：1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)产品尺寸：现场图片：