微量进样系统

近期，宁夏计质院新建的微量进样器校准装置通过自治区市场监管厅考核，取得《计量标准考核证书》。 　　微量进样器作为色谱分析仪、酒精检测仪和其他化学分析仪器中常用的计量器具，主要应用于实验过程中对各种物质吸取定量样品，并进行微量定量、定性分析。随着全区医疗卫生、生物化学、食品安全、石油化工、环境保护等领域的快速发展，各实验室使用微量进样器越来越广泛，为满足在定性、定量分析中保证进样微小容量量值准确可靠的要求，宁夏计质院坚持问题导向，结合实际情况和近两年微量进样器的发展状况，新建了微量进样器校准装置，测量范围为(0.5～1000)μL。该项计量标准的建立，将为全区微量进样器校准工作提供科学依据和标准规范，保证微量进样器的量值溯源准确可靠。

p　　2015年11月5日，日立高新宣布推出新型微量取样系统，可用于a href="http://www.instrument.com.cn/zc/1139.html" target="_self" title="" style="color: rgb(0, 112, 192) text-decoration: underline "span style="color: rgb(0, 112, 192) "透射电镜/span/a的自动化样品制备。该系统能够进行连续样品制备，在对微型半导体器件结构评估和失效分析当中，能够实现高精度、高效率测量，从而改进半导体器件的生产效率。/pp　　微量取样技术利用聚焦离子束(FIB)和精密探针，可以从半导体晶片中提取包含有待分析区域的微米级样品。提取的微量样品再利用聚焦离子束减薄，以便利用透射电镜进行高分辨率观察和高精度分析。在1999年，日立集团就已经成为全球微量取样系统市场的领先企业，如今，日立的微量取样系统广泛应用于半导体器件的过程评估和失效分析，以及用于尖端材料的分析。/pp　　微量取样技术包括聚焦离子束加工过程：(1)表面防护、(2)周边铣削、(3)底部截槽，以及精密探针加工过程：(4)固定探针、(5)微桥切割、(6)提取微量样品、(7)将微量样品固定到透射电镜样品模具、(8)探针切割。过程(1)至(3)已经实现了自动化操作，而过程(4)-(8)则需要有经验的操作人员进行手工操作，确保在三个维度的高精度位置控制。/pp style="text-align: center "img src="http://img1.17img.cn/17img/images/201511/insimg/ddba87ac-54b8-4241-a276-dcfdec429acd.jpg" title="图1.jpg" width="600" height="309" border="0" hspace="0" vspace="0" style="width: 600px height: 309px "//pp　span style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "　图1.微量取样系统工作流程图(除了(1)-(3)的聚焦离子束加工，新型微量取样系统实现了过程(4)-(8)精密探针加工过程的自动化操作)/span/pp　　在新推出的微量取样系统当中，日立高新采用了accumulated beam技术、图像处理和匹配技术来实现自动识别探针，这是长期以来困扰(4)-(8)精密探针加工过程实现自动化的一个重要问题。这个改进实现了精密探针加工过程的自动化，无需专门的操作技能即可轻松获取透射电镜分析所需的微量样品。/pp　　通过设置多个加工位点、以及提取微量样品的固定位点，新型微量取样系统可实现无人值守的连续运行。这个新的变化增大了高通量分析的加工容量，提高了半导体器件的生产效率和生产量。/pp　　日立高新还计划将自动化微量取样系统应用于聚焦离子束扫描电镜(FIB-SEM)。/pp　span style="font-family: 楷体, 楷体_GB2312, SimKai "　备注：精密探针是指一个利用微动机制在亚微米精度操纵磨尖的钨针运行的系统。/span/pp style="text-align: right "编译：秦丽娟/p

很多进行新材料研发及相应创新应用研究的用户，使用的打印材料配制难度大且昂贵，或需进行材料快速筛选时，可提供的打印材料量很少（通常只有几十毫升），例如生物医疗材料（如GelMA每克需几百元）、水凝胶、新型功能材料等。对于这类材料的3D打印，通常情况下打印设备配置的标准材料容器相对而言容积过大，用户能够提供的材料由于量少而无法实现打印，或者为了匹配打印设备标准材料容器，增加材料配制量而带来巨大的成本和材料浪费。承装液态光敏材料的树脂槽是PμSL 3D打印系统中的关键组件。通常地，对于面投影光固化打印，特别是自上而下投影方式，树脂槽容量与打印尺寸成正比，即打印系统可实现的最大成型尺寸越大，相应配置的树脂槽容量也越大，因此，打印时所需的材料也越多。如摩方公司的10 μm光学分辨率的3D打印系统S140，最大打印样品尺寸为94 mm × 52 mm × 45 mm，系统标配的树脂槽容量为800 ml。图1 摩方公司S140标准树脂槽规格基于稀贵材料的特殊打印需求，摩方公司自主研发出容量20 ml的微量树脂槽系统，以满足这一材料的打印及相应研究，如图2所示为20 ml树脂槽系统设计。为了匹配设备原有结构设计并简化树脂槽更换程序，微量树脂槽直接配置于设备的标准树脂槽中，安装更换便捷。同时，配备相应的打印平台和打印离型膜，以实现稀贵材料的特殊打印。这一微量树脂槽系统可实现10 mm × 10 mm × 10 mm的最大打印尺寸。图2 摩方公司S140 20ml树脂槽系统图3 摩方公司S140800 ml标准树脂槽和20ml微量树脂槽实物对比利用上述20 ml树脂槽系统，摩方公司做了系列新材料的3D打印及应用研究。如图3所示是使用该微量树脂槽打印的微弹簧阵列结构，所用材料为磁性颗粒复合树脂（单价约10元/mg），材料配比5%质量比，打印弹簧线径约100 μm。图3 磁性颗粒复合树脂打印在实现设备最大打印尺寸的标准树脂槽基础上，新增适用于稀贵新型材料打印的微量树脂槽，解决了初期材料开发量少、材料浪费、成本高、材料筛选周期长等难题，可有效促进新材料的开发及相关应用研究。官网：https://www.bmftec.cn/links/10