折射率指数

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折射率指数相关的耗材

  • 渐变折射率多模光纤
    渐变折射率多模光纤生产商介绍: IVG Fiber公司专门开发和生产特殊的光纤和定制型光纤传感系统。 IVG Fiber公司成立于1997,是一家光纤应用研究公司,专门从事特种光纤传感器的设计与开发。凭借对光纤偏振效应及其在传感和电信中的应用的深入研究,该公司专门为光纤行业提供技术解决方案。起初,他们专注于旋转光纤及其在电流传感器和光纤陀螺方面的应用,2004年,他们开发出专门在高温和恶劣的环境中传感使用的,采用独特的金属涂层的光纤,能够承受高达600°C的高温。 现在,我们能够提供完整的光纤传感解决方案:多种特性和用途的单模和多模光纤。当涉及到系统的开发,我们的业务涵盖光纤传感的各个方面:从光纤组件的数学建模到分布式多传感器系统的安装。 产品介绍: 渐变折射率光纤的标准尺寸为50 / 125和50 / 200。一般备有库存,可以很快发货,起订长度20m 。定制型渐变折射率光纤,包含纯硅62.5μm纤芯,起订长度1km ,交货时间6周。规格参数:Cu50/125Cu50/200AL50/125定制选项有效性有库存有库存有库存Custom run预涂覆层铜合金铜合金铝铝;铜附加内层碳碳—碳附加外层———聚酰亚胺;丙烯酸脂波长范围600–2000nm600–2000nm600–2000nm—衰减at1300nm14dB/km2.5dB/km14dB/km—数值孔径0.220.220.220.13–0.37折射率分布渐变折射率渐变折射率渐变折射率渐变折射率;阶跃折射率纤芯/保护层成分Ge-doped/pureGe-doped/pureGe-doped/pure纯硅纤芯;大数值孔径OH contentlow OHlow OHlow OH纤芯直径50μm50μm50μm50μm 62.5μm包层直径125±1μm200±2μm125±1μm125μm 200μm涂覆层直径165±10μm260±10μm165±10μmFrom 20 to 50μm thick纤芯保护层同心度5μm5μm5μm—包层偏移5μm5μm5μm—短期弯曲半径 10mm15mm10mm—长期弯曲半径25mm40mm25mm—测试实验100kpsi100kpsi 100kpsi—连续长度upto3000mupto2000mupto3000m—短期温度(60s)600oC600oC400oC—长期温度(60s)450oC450oC400oC—
  • 阶跃折射率多模光纤
    阶跃折射率多模光纤生产商介绍:IVG Fiber公司专门开发和生产特殊的光纤和定制型光纤传感系统。IVG Fiber公司成立于1997,是一家光纤应用研究公司,专门从事特种光纤传感器的设计与开发。凭借对光纤偏振效应及其在传感和电信中的应用的深入研究,该公司专门为光纤行业提供技术解决方案。起初,他们专注于旋转光纤及其在电流传感器和光纤陀螺方面的应用,2004年,他们开发出专门在高温和恶劣的环境中传感使用的,采用独特的金属涂层的光纤,能够承受高达600°C的高温。现在,我们能够提供完整的光纤传感解决方案:多种特性和用途的单模和多模光纤。当涉及到系统的开发,我们的业务涵盖光纤传感的各个方面:从光纤组件的数学建模到分布式多传感器系统的安装。产品介绍:阶跃折射率光纤的标准尺寸为200 / 220,400 / 440和600 / 660,带有铜合金或铝的涂层。每种尺寸都可用在紫外和红外波段。一般备有库存,可以很快发货,起订长度20m 。定制型光纤, 具有大数值孔径,大直径(如800 / 880或1000 / 1100)以及纤芯包覆率(1.06;1.10),起订长度较长 ,交货时间6周。规格参数:Cu100/110Cu200/220Cu400/440Cu600/660AL200/220AL400/440Custom options有效性库存库存库存库存库存库存customrun预涂覆层铜合金铜合金铜合金铜合金铝铝铝;铜附加内层碳碳碳碳—碳碳附加外层——————聚酰亚胺;丙烯酸脂数值孔径0.220.220.220.220.220.220.17–0.37折射率分布阶跃折射率阶跃折射率阶跃折射率阶跃折射率阶跃折射率阶跃折射率阶跃折射率纤芯/保护层成分纯/掺氟纯/掺氟纯/掺氟纯/掺氟纯/掺氟纯/掺氟掺锗,高数值孔径纤芯直径100±2μm200±3μm400±5μm600±8μm200±3μm400±5μm100–1000μm包层直径110±2μm220±3μm440±5μm660±8μm220±3μm425±5μm110–1100μm涂覆层直径145±10μm270±10μm535±10μm745±15μm270±10μm535±10μmfrom20to50μmthick纤芯-保护层同心度5μm5μm5μm5μm5μm5μm—包层偏移5μm5μm5μm5μm5μm5μm—弯曲半径20mm40mm70mm100mm40mm70mm—测试实验100kpsi100kpsi100kpsi100kpsi100kpsi100kpsi—连续长度upto3000mupto2000mupto400mupto100mupto2000mupto400m—短期温度(60s)600oC600oC600oC600oC400oC400oC—长期温度(60s)450oC450oC450oC450oC400oC400oC—
  • 数字袖珍折射仪药品折射仪PAL-RI
    数字手持袖珍折射仪PAL-RI 数字手持袖珍折射仪PAL-RI是PAL系列中唯一可测量折射率的新款产品.适合在药品及化工制品等以折射率来管理产品质量的过程中使用. Model PAL-RI 型号 3850 测量范围 折射指数 1.3306 至1.5284 溶解值 折射指数0.0001 测量准确度 折射指数± 0.0003 (在20度摄氏使用水时) 环境温度 10 至40° C 测量温度 5 至45° C (溶解值1° C ) 样本量 0.3 ml 测量时间 3 秒 电源 2 × AAA 电池 国际保护等级 IP65 无尘且对喷射水柱具防护作用 尺寸重量 55(W) × 31(D)× 109(H)毫米, 100公克(不含零件的重量) 选件 &bull PAL保管箱: RE-39409&bull 携带连: RE-39410

折射率指数相关的仪器

  • ATAGO(爱拓)高折射率阿贝折光仪NAR-4T新材质在现代科技的研发一直被各个工业领域所积极运用。许多新材质(特别是聚合物胶卷和相关材质)具有相当高的折射指数,-通常太高以致于现行的阿贝折射仪无法测量,ATAGO(爱拓)高折射率阿贝折光仪NAR-4T,测量范围在nD1.4700 至1.8700的4T,可轻松应对高折射率样品的测量,测量精度达到±0.0002 型号NAR-4T货号1240测量范围折射指数(nD) 1.4700 至 1.8700分辨率折射指数(nD) 0.001测量准确度折射指数(nD) ±0.0002数字式温度计显示范围 0.0 至 50.0℃( 精度±0.2℃ 分辨率:0.1℃ )测量温度范围5 至 50℃光源8V, 0.15A 钨丝灯泡电源AC 100 至 240V 50/60Hz功率5VA尺寸重量13*18*23cm, 1.8kg(仅限主机) 10*11*7cm, 0.5kg (温度显示器)【关于 ATAGO】ATAGO(爱拓)专注折光仪超80年,每年超过20000台折光仪服务于中国客户。主要产品有:折光仪、旋光仪、糖度计、盐度计、粘度计、浓度计、pH计等等。ATAGO(爱拓)产品应用行业覆盖:食品饮料、果蔬种植、制糖行业、日用化工、生物医药、石油化工、液晶薄膜、新材料、半导体、光伏光电、汽车制造、金属机械加工、质检机构、高校科研等多种领域。更多产品咨询,敬请致电:400-860-5586,谢谢!
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  • 石油产品折射率测定仪(RA-620/RA-600)Automatic Digital Refractometer石油产品折射率测定仪(RA-620/RA-600) 适用标准:GB/T 6488-2022 液体化工产品 折光率的测定。GB/T 614-2021 化学试剂 折光率测定通用方法。GB/T 5527-2010 动植物油脂 折光指数的测定。GB/T 13531.7-2018 化妆品通用检验方法 折光指数的测定。SH/T 0724-2002 液体烃的折射率和折射色散测定法。SH/T 0205-1992 电气绝缘液体的折射率和比色散测定法。SH/T 0729-2004 石油馏分的碳分布和结构族组成计算方法(n-d-M法)。NB/SH/T 0838-2010 未使用过的润滑油基础油及无沥青质石油馏分中稠环芳烃(PCA)含量的测定 二甲基亚砜萃取折光指数法。SN/T 0041-2011 出口石脑油PONA值检验方法 第4部分 比折光度法测定饱和烃馏分中的环烷烃。MH/T 6114-2017 除冰防冰液折射率测定方法。ASTM D1218, D1747, D3321, D4095, D4542, D5006, D524, D542ASTM D1218-21 Standard Test Method for Refractive Index and Refractive Dispersion of Hydrocarbon Liquids(液态烃的折射率和折射分散度的测试方法)。ASTM D1747-09(2019) Standard Test Method for Refractive Index of Viscous Materials(粘性材料折射率的试验方法)。ASTM D4095-97(2020) Standard Practice for Use of the Refractometer for Determining Nonvolatile Matter (Total Solids) in Floor Polishes(测定地板擦亮剂中的不挥发物质(总的固体物质)用折射计的标准实施规程)。ASTM D5006-11(2021) Standard Test Method for Measurement of Fuel System Icing Inhibitors (Ether Type) in Aviation Fuels(测量航空燃料中燃料系统结冰抑制剂(醚型)的试验方法)。石油产品折射率测定仪(RA-620/RA-600) 主要特点:1. 自动折射仪具数字式触摸液晶屏,显示折射率度和浓度。2. 内置自动恒温控制,外形轻巧,操作容易,测定速度快。3. 使用LED光源不需更换灯泡,测量棱镜为蓝宝石耐磨损。4. 自动折射仪符合GLP规范,存储结果、检查和校正纪录。5. 折射仪可输入折射率和温度对照表,自动补偿试样折射率。6. 折射仪可输入折射率和浓度对照表,自动换算试样的浓度。7. 标配防挥发盖板,可防止易挥发性的样品造成检测的影响。8. 中文的操作界面,简单的测试方法,高精度的结果和履历。石油产品折射率测定仪(RA-620/RA-600) 技术参数:数字式折射率测定仪(RA-620)测量范围: 折射率: 1.32000~1.58000nD, 糖度: 0.00~100.00%。准确度: 折射率: ±0.00002nD,糖度(Brix): ±0.014%。重复性: 折射率: ±0.00001nD,糖度(Brix): ±0.01%。分辨率: 折射率: 0.00001nD,糖度(Brix): 0.01 %。温度控制范围: 5~75°C,内置帕尔贴控温装置。温度分辨率: 0.01°C。数字式折射率测定仪(RA-600)测量范围: 折射率: 1.3200~1.7000nD, 糖度: 0.00~100.00%。准确度: 折射率: ±0.0001nD,糖度(Brix): ± 0.1%。重复性: 折射率: ±0.0001nD,糖度(Brix): ±0.1%。分辨率: 折射率: 0.0001nD,糖度(Brix): 0.1 %。温度控制范围: 5~75°C(可选5~100°C),内置帕尔贴控温装置。温度分辨率: 0.1°C。测定方式: 光折射臨界角检出方式。光源: LED钠光谱D线(589.3nm)。最小样品量: 0.2mL。接触样品材质: 蓝宝石棱镜,不锈钢SUS316样品台。显示: 4.7寸彩色背光液晶显示器。控制方式: 触摸屏控制方式。界面: LAN, USB, RS-232C。电源: AC100~240V,50/60HZ, 20W。尺寸: 191(W)x281(D)x161(H)mm。重量: 约5kg。京都电子(KEM)中国分公司 客服热线: 400-820-2557
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  • PR-RI PALETTE系列数显折射计我们ATAGO产品袖珍型产品中长期畅销商品的PAL系列增加了新产品, 就是测量折射率的PAL-RI.适合在药品及化工制品等以折射率来管理产品质量的过程中使用. 型号PR-RI货号3480测量范围折射指数(nD)1.3306 至 1.4436溶解值折射指数(nD) 0.0001测量准确度折射指数(nD)± 0.0002(在20度摄氏使用水时)环境温度10 至 40° C测量温度5 至 45° C(溶解值 1° C )样本量0.3 毫升测量时间3 秒电源006P 蓄电池 ( 9V )国际保护等级 IP64 无尘且对泼溅的水具防护作用。尺寸重量17× 9× 4公分, 300公克(不含零件的重量)ATAGO(爱拓)全新的PAL-39S双氧水浓度快速测定仪双氧水折光仪使用折光原理快速方便的检测双氧水浓度,只需要0.5ml左右的样品,滴加之后3秒钟显示测量结果,手持便携,易于操作。PR- 50HO双氧水浓度测定仪双氧水折射计具有更高的精度和使用寿命,可快速方便的检测双氧水浓度,只需要0.5ml左右的样品,滴加之后3秒钟显示测量结果,通过电池设计,手持便携,易于操作,测量精准。更多使用与应用信息请联系日本ATAGO(爱拓)种豆浆的Brix值大约 10%4.测量豆浆的浓度1.在做豆腐前测量豆浆的浓度2.在做豆腐前需测量豆浆的浓度,折射计可以快速提供测量结果*由于制造流程或使用的豆子原料的不同,豆浆在制作过程中的糖度( Brix )值会发生变化ATAGO爱拓 中文官网:ATAGO 日本总部官网: 关于爱拓(日本ATAGO)成立于1940年的日本ATAGO(爱拓),半个多世纪以来不断地致力于研究和开发多样化的,应用广泛的光电测试仪器,其主要产品为折射仪,旋光仪及基于折射仪测定各种物质浓度的衍生产品浓度计。ATAGO(爱拓)产品的应用涵盖食品饮料,果蔬加工,糖业,日用化工,生物制药,临床检验,石油化学到金属制造等许多领域,在世界处于领先地位并占据最大市场份额,ATAGO(爱拓)产品的设计与制造过程遵循ISO9000质量体系认证,所有ATAGO(爱拓)产品在离开厂房时均经过严格彻底的检验,产品品质卓越,耐用性超群,长久以来,凭借优秀的品牌知名度,ATAGO(爱拓)产品不断获得来自全世界一百多个国家客户的完全信赖.关于爱拓中国(ATAGO CHINA Ltd.)2011年ATAGO(爱拓)中国分公司的成立和正式运行(全称广州市爱宕科学仪器有限公司),将使广大国内用户能够快速地购买产品,获得使用指导和维修服务。 #ATAGO (爱拓)在线折光仪# ----PRM-100a"荣获&ldquo 2012年度食品工业技术创新奖仪器厂商&rdquo 称号。
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  • 折射率的选择

    折射率的选择一直是困惑我的一个问题,我用的是LA-920(日本HORIBA的),不知道是我找不到还是别的原因,仪器上没有发现换溶剂折光指数的地方,我公司要测的样品也不多,可是种类很多,有乳液、涂料、还有很多的无机物等等。这些东西我现在也根本不知道它们的折射率,我的选择标准就是:让分布图出现一个峰,也就是这种物质的折光指数了。假如换了溶剂那么就不管溶剂的,只选一个让图谱好看的折光指数。 请高手指点。

  • 折射率的问题

    本人新手,最近接手了一台Mastersizer3000激光粒度仪,接到了用干法检测齐多夫定粒度的任务,在马尔文工作站自带的材料库里没有齐多夫定的折射率等参数,后来在网上查到了齐多夫定的折射率为47°(C=1,H20),对C=1,H20这两个参数不理解,不知道该怎么换算成我们平时用到的那种折射率,像水的折射率是1.33,而不是一个折射角角度。望赐教

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  • ATAGO(爱拓)REPO-5 折光旋光一体机新品上市 -----测定香精香料的折射率和旋光度
    一台顶三台,一台仪器三种测量显示参数 由中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布的GB/T 14454 《香料通用试验方法》中的第四、第五部分使用折光法和旋光法的方法对香料进行折光指数测定。 各香精生产企业、卷烟生产企业为控制烟用香精的质量,通常需进行相对密度、折光指数、溶混度等物化指标的测定,折光指数是有机化合物的重要物理常数之一,作为液体纯度的标志,折光指数的测定受温度影响较大,若不在20℃恒温检测的情况下,折光指数的检测结果要进行换算,发现换算值与20℃恒温测定值存在较大的差异,折光指数和密度属于凝聚型性能,与分子结构密切相关,且具有相同的结果基础,因此,两者之间必然存在着一定的关系。 香精香料公司生产了一系列的产品以满足不同的应用,如:冰淇淋、饮料、休闲食品、休闲食品、糖果和家庭用品等,几乎所有的香精香料公司都需要对他们的原材料、半成品和成品进行纯度和一致性测试。一种理想的测试技术是密度/折光率,利用折光旋光仪联用测量系统,可以在短时间内完成对一种物质,提高了测量的效率,同时可作为符合HACCP规范的重要安全指标。 RePo-5折光旋光仪可测量仪器显示3种测量结果:折射率,Brix%和旋光度。适合于化工领域任何需要检测上述参数的样品,比如香精香料行业、化工原料行业等。其原理是根据旋光和折射率的检测原理样品。用户只需在样品槽内放置3ML的样品,按下START按钮,即可测量旋光性和折射率。折光旋光仪自动计算折射率、国际标准糖度、比旋光度、浓度。如果预先设定了上限和下限值,当样品超过设定范围,仪器也可以灯光报警。帮助香精香料生产企业、研究行业观察仅靠Brix无法查看的旋光度、折射率的构成成分比例。 国家标准规定中GB/T 14454.4-2008 《香料 折光指数的测定》,GB/T 14454.5-2008 《香料 旋光度的测定》,对香精香料产品既需要测试折光,又需要测试旋光的联用测量方法。 产品参数货号5015型号RePo-5 检测对象 折射率(化工原料) 测量项目旋光度,Brix (%),折射率,温度 主要特点 仪器显示3种测量结果:折射率,Brix%和旋光度。适合于化工领域任何需要检测上述参数的样品,比如香精香料行业、化工原料行业等。 测量范围AR旋光度: -5.00 至 +5.00°Brix (%): 0.0 至 85.0%折射率: 1.3278 至 1.5093温度: 15 至 40℃ 分辨率 AR旋光度: 0.01°Brix (%): 0.1%折射率: 0.0001温度: 0.1℃ 测量精度AR旋光度: ±0.1°(at 20℃)Brix (%):±0.2%折射率: ±0.0003 (1.3330时)温度: ±1℃ 温度补偿范围 Brix (%): 15 至 40℃测量时间12 秒环境温度15 至 40℃存放温度0 至65℃样品量3ml测量波长589nm光源LED电源四节AAA碱性电池防水等级IP 64规格101 x 160 x 38mm, 325g (仅主机) 欢迎用户邮寄样品资料,进行样品测量检测,ATAGO(爱拓)超过200种产品应用解决方案。
  • 什么是brix值及brix值与折射率的换算
    什么是Brix值? 折射计测量的是溶液的折射率。Brix标度实际上是表示是蔗糖水溶液的浓度。而在大多数溶液中除蔗糖外,可能还包括盐、矿物质和蛋白质等,Brix值表示溶液中总的可溶性固形物的含量。对于特定的样品,如切削油或其他工业产品,可通过建立Brix值与样品实际浓度的转换关系进行测量。 Brix(%)值与折射率(nD)换算表 % n 20D % n 20D % n 20D 0 1.33299 35 1.39032 70 1.46546 1 1.33442 36 1.39220 71 1.46790 2 1.33586 37 1.39409 72 1.47037 3 1.33732 38 1.39600 73 1.47285 4 1.33879 39 1.39792 74 1.47535 5 1.34026 40 1.39986 75 1.47787 6 1.34175 41 1.40181 76 1.48040 8 1.34477 43 1.40576 78 1.48552 9 1.34629 44 1.40776 79 1.48811 10 1.34782 45 1.40978 80 1.49071 11 1.34937 46 1.41181 81 1.49333 12 1.35093 47 1.41385 82 1.49597 13 1.35250 48 1.41592 83 1.49862 14 1.35408 49 1.41799 84 1.50129 15 1.35568 50 1.42009 85 1.50398 16 1.35729 51 1.42220 86 1.5067 17 1.35891 52 1.42432 87 1.5094 18 1.36054 53 1.42647 88 1.5122 19 1.36218 54 1.42863 89 1.5149 20 1.36384 55 1.43080 90 1.5177 21 1.36551 56 1.43299 91 1.5205 22 1.36720 57 1.43520 92 1.5234 23 1.36889 58 1.43743 93 1.5262 24 1.37060 59 1.43967 94 1.5291 25 1.37233 60 1.44193 95 1.5320 26 1.37406 61 1.44420 27 1.37582 62 1.44650 28 1.37758 63 1.44881 29 1.37936 64 1.45113 30 1.38115 65 1.45348 31 1.38296 66 1.45584 32 1.38478 67 1.45822 33 1.38661 68 1.46061 34 1.38846 69 1.46303 上表所用Brix0-85%与折射率之间的换算值系采用ICUMSA(国际糖分析办法协会,1974年成立)数据。 ATAGO(爱拓)是专业的折光仪/折射仪与旋光仪旋光仪生产厂商,生产多种类型的折光仪/折射仪及旋光仪 旋光仪。提供生产原料及成品的Brix值、折射率、盐度、糖度、物质浓度、旋光度的测量方案!更多折光仪/折射仪/旋光仪旋光仪详情请点击 www.atago-china.com 或致电020-38108256 ATAGO(爱拓)中国分公司 咨询。
  • 如何借助折射率测量技术来提高半导体生产质量
    化学机械研磨/抛光 (CMP) 将化学反应和机械研磨结合在一起,是一项成本高昂且具有挑战性的重要纳米抛光工艺。这一工艺是集成电路制造中关键的使能步骤,对产量和工作效率都会产生影响。CMP 简介抛光工艺使用含氧化剂的浆料完成,氧化剂通常为过氧化氢 (H2O2)。在制造过程中,将晶圆和抛光垫紧密地压在一起,同时使二者各自以略微不同的速度逆时针旋转。将浆料铺在抛光垫的中央,然后结合运用机械操作和化学操作,逐步除去晶圆表面的材料,使晶圆表面局部和整体都顺滑平坦。 使用 CMP 浆料前,先在工厂对其进行混合或稀释。氧化物抛光浆料在购买时通常为浓缩状态,使用前在现场加水稀释,以减少运输和人工成本。一些多组分抛光浆料只能随用随混,因为这些浆料在混合后有效期很短。确保正确地混合至关重要,因为混合效果直接关系到化学反应速率和晶圆抛光速率;混合过程中的任何缺陷都会对可制造性和可靠性产生负面影响。尽管制造点 (POM) 的浆料控制很严格,但后续过程(包括运输、处理和过滤)会影响化学特性,因此需要对浆料进行连续监测,直到抵达使用点 (POU) 为止,以确保实现高产量。这样就需要有效、快速、可靠、准确且经济高效的计量工具和方法,因此许多制造厂选择使用折光仪。如何借助折射率测量技术来提高生产质量折射率 (RI) 测量技术是一种不消耗浆料的连续在线测量方法,可帮助制造厂在传递工艺相关的实时信息时迅速识别出浆料成分错误,从而减少存在风险的晶圆数量。CMP 浆料携带纳米颗粒,其固体含量为 1 - 30%(取决于浆料类型),因此对其中的过氧化氢浓度进行分析极具挑战性。但通过对特定浆料的折射率及温度特性进行标定,RI 测量法可以不惧这些困难条件,成功测量出钨浆料中的过氧化氢浓度并将误差控制在 ±0.03%(重量)以内。此外,与电导率探头测试不同,RI 测量可以监测 H2O2 浆料浓度,该指标可以反映浆料随时间的沉降和降解情况。因此,RI 不仅用于检验产品的质量,也用于监测进厂原始浆料各批次之间的变化,并验证混合 - 添加步骤。部分浆料输送系统拥有一项引人注目的功能,那就是日用槽自动化学品加料功能。维萨拉半导体行业用折光仪的优点维萨拉半导体行业用折光仪为半导体制造环境设计。该仪器尺寸小且不含金属,因此适合在不影响工艺的情况下测量化学物质。维萨拉半导体行业用折光仪适合 CMP 操作,因为:测量数字化,并且不会产生偏差集成了温度测量组件,可确保高精度的 RI 测量可进行直接密度测量设计坚固可靠,可承受过程中的振动,减少测量误差通过内置诊断程序,可即时了解工艺条件拥有流通池(旨在减少甚至消除结垢现象)参考文献多年来, DFS公司一直在 CMP 操作中使用维萨拉半导体行业用折光仪,长期的成功运作证明该设备可靠且准确。“随着工艺节点越来越多地采用 CMP 步骤,我们必须确保输送到抛光工具的浆料的化学特性以及机械特性保持稳定一致,”DFS公司化学技术研发总监Karl Urquhart 解释道,“在线 RI 监测可以评估进料的化学成分,检验混合添加步骤的质量,并且可以通过一次不消耗浆料的实时测量来验证 CMP 浆料是否混合均匀。”针对 CMP 浆料的 H2O2 测量装置于 2013 年在一家大型半导体制造厂中完成安装,用于取代自动滴定法。安装后,该测量设备稳定运行,并且除了正常的冲洗混浆池外,无需进行仪器维护。通常,在安装维萨拉半导体行业用折光仪后,制造厂的晶圆产量可提升约 20%。此外,CMP 浆料受到严格控制,能够提高研磨过程的均匀性。❖ 维萨拉半导体行业用折光仪 PR-33-S适用于半导体液态化学品测量该折光仪外形紧凑,流通池采用改良超纯 PTFE 制成,适用于半导体液态化学品测量。可通过 ¼ 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或扩口 Flare 连接。维萨拉半导体行业用折光仪 PR-33-S 用于晶圆洁净室里的化学品浓度监测,通常被安装在混合、清洗、蚀刻和 (CMP) 等机台上。PR-33-S 包含一个超纯改性 PTFE 流通池主体和一根以太网线,不同标准的以太网供电 (PoE) 开关均可通过以太网线向传感器供电,并将数据传输给计算机。PR-33-S 实时监测化学品浓度,当化学品浓度超出规定范围时,立即通过以太网反馈报警。例如,可通过配置低浓度和高浓度警报来控制和延长溶液使用寿命。这里的浓度通过对溶液折射率 nD 和温度测量来确定。PR-33-S 直接通过喇叭形或pillar配件进行安装。PR-33-S 结构紧凑,不含金属,体积小。关键要素:• N.I.S.T. 标准下的可追溯校准及验证,采用标准折射率液体和验证程序进行验证。• 光学核心设计。 • 通过以太网进行数据记录和远程界面操作。• 标准 UDP/IP 通信。• 过程温度范围:-20°C – 85°C (-4°F – 185°F)。• 内置 Pt1000 快速温度测量及自动温度补偿 。
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