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对XPS了解的很少,看了文献中XPS的深度分析,可以给出深度和元素含量的关系,前几天我送样测了一个聚合物的,只给出了溅射时间和元素含量,分析测试的老师说,不知道溅射的深度,我一点也不懂,请高手给予赐教。
各位大神,我想了解一下SEM-EDS分析深度介绍的文章或者书籍,关于二次电子、背散射电子、X射线的分析深度的,请推荐一下资料,最好是英文的,非常感谢!
前段时间看到有版友提到X射线分析深度与样品厚度的问题,在此,我查阅了一些资料,现在给大家分享一下。X射线分析深度与样品厚度 X射线在物质中的穿透深度与波长有关。波长越短,穿透深度越大。波长相同时,物质的平均原子序数越小(轻元素含量高),穿透深度越大。换句话说,样品所发射的荧光X射线的波长越短,及样品中的轻元素含量越高,则获得的试样深部的信息就越多。也就意味着,荧光X射线的波长越长,所得到的样品表面附近的信息就越多,或仅包含表面附近的信息。也因此,元素越轻越易受到样品表面的影响。 测定短波长X射线时,或者分析主成分为轻元素的样品时,如果样品的厚度不够,即使测定组成相同的样品,X射线强度也会因样品厚度不同而变化。图10.6是Ni箔样品中Ni的荧光X射线强度与试样厚度的关系曲线。在组成不变的情况下,X射线强度不再随样品厚度增加而变化时的厚度称为无限厚。除了薄膜分析之外,易受样品厚度影响的典型分析实例是树脂中重金属元素的分析。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/04/201104201724_290037_1601823_3.jpg 图10.6 样品厚度与X射线强度的关系 在分析树脂中Cd时,X射线强度随样品厚度而变化。将粒状树脂标准样品经热压后制成2 mm厚的圆片,作为Cd分析的校准样品。使用相同的样品,通过改变样品厚度或样品加入量,测定Cd的X射线强度。结果表明,即使是同一样品,因厚度或加入量的不同,测定强度也会发生很大变化。表10.2是以2mm厚的圆片校准,得到的不同厚度样品的定量结果。因此,在某些类型的样品分析中,因样品厚度不同所造成的分析误差是相当大的。http://ng1.17img.cn/bbsfiles/images/2011/04/201104201732_290041_1601823_3.jpg 由于被测样品或元素(谱线)是否受样品厚度影响对样品制备方法及测定条件的研究确定有很大影响,要进行高精度分析,就应事先对此进行检查。