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有台岛津的CS-9000的双波长飞点薄层扫描仪也不知道准不准,有方法检测吗?
超声波扫描显微镜特点及原理介绍超声波仪器的分类 声纳频率范围: 》500KHz分辨率范围: m-cm应用领域:航海测绘等B-超 频率范围: 1 MHz分辨率范围:cm-mm应用领域:医疗诊断等超声波探伤 频率范围: 100 KHz–15MHz分辨率范围: 0.01- 5 mm应用领域:工业探伤等超声波显微镜 频率范围: 5–2000MHz分辨率范围: 0.3-100μm应用领域:电子工业等超声波的传播方式 超声波与电磁波不同,是一种机械波,其传播的方式是通过介质中分子的振动进行的,因此超声波的传播情况和介质具有非常大的关系,通常来说,介质的密度越大超声波传播的速度越快,衰减也越低,在稀薄的空气中,超声波无法传播。超声波根据其介质分子的振动方向和传播方向的不同,分为纵波和横波二种。超声波检测的特点l 无损检测可做非破坏性的缺陷检测,是目前最常用的无损检测手段之一;l 纵向(Z)方向具有高检测分辨本领对于Z 方向的缺陷分辨率可以达到nm级水平(指缺陷厚度);l 材料的力学性能检测由于材料密度决定了声阻抗,因此可以通过高频超声检测得到材料密度的分布,从而推导出应力场,裂纹变化趋势等材料的力学性能; 主要用途l 材料的密度及晶格组织分布l 材料内部的裂纹l 材料内部分层缺陷,夹杂物等l 材料的杂质颗粒,夹杂物,沉淀物等l 材料的空洞,气泡,间隙等超声波显微镜和X-光检测技术的比较X-光检测适用于检测内部的结构性情况,比如 IC 集成电路内部的金线分布等,但并不能检测芯片与基底之间粘接层的缺陷,超声波扫描显微镜主要适用与检测这些粘接层或其他界面之前的缺陷。
超声波扫描显微镜发展到今天,随着技术进步及不同的使用环境,已形成了一些列的型号产品,其扫描频率最高可以达到2G.扫描分辨率0.1微米.最小扫描范围为0.25mm*0.25mm. 是一种非破坏性的检测组件的完整性,内部结构和材料的内部情况的仪器,作为无损检测分析中的一种,它可以实现在不破坏物料电气性能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。被广泛的用在物料检验(IQC)、失效分析(FA)、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D))等领域。其可以检查到:1.材料内部的晶体结构、杂志颗粒、夹杂物、沉淀物、2.内部裂纹3.分层缺陷、4.空洞、气泡、孔隙等; 在一个较小尺寸的范围内,超声波会由于材料的物理特性发生相互作用。一旦材料的特性发生变化,样品内部的超声波就会被吸收、散射和反射。因为超声波无法很好通过空气进行传播,所以样品内的微小缝隙会被很容易的检测到。利用超声波的这种特性,可以把半导体材料内部的诸如分层,裂缝等的缺陷和不透光材料中的空隙等缺陷,成像在高分辨率的图像上,给材料的可靠性分析带来方便。 为了便于网友根据各自用途选择合适的型号产品,现将各型号的技术参数汇总如下: 见附件。