原位分析透射显微镜

项目编号：OITC-G220571552项目名称：中国科学院过程工程研究所原位分析透射电子显微镜、多功能离子减薄仪采购项目预算金额：1840.0000000 万元（人民币）最高限价（如有）：1840.0000000 万元（人民币）采购需求：1、采购项目的名称、数量：包号货物名称数量（台/套）是否允许采购进口产品采购预算（万元人民币）1原位分析透射电子显微镜1是17852多功能离子减薄仪1是55投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。合同履行期限：详见采购需求本项目( 不接受 )联合体投标。

p 　　 strong 仪器信息网讯 /strong 5月16日，由天津理工大学电子显微镜中心、天津理工大学新能源材料与低碳技术研究院、天津理工大学材料科学与工程学院主办的“2019年扫描透射电子显微镜及相关分析技术研讨会”在滨海之城天津顺利召开。 br/ /p p 　　本次研讨会共进行3天(5月16日-18日)，有42位电子显微学及其应用专家应邀作特邀报告，同时有120余位相关领域的专家学者和学生参加本次会议。会议着重探讨了扫描透射电子显微学技术和方法的最新进展、电子显微镜学技术在物质科学领域的前沿成果、以及电镜相关软硬件和方法的最新发展与前沿思考，并促进国内外电子显微学实验室的设备共享、科研合作和学术交流。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 581px height: 371px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/7ceb8980-aafb-4ca2-b0c6-e1cc13694738.jpg" title=" IMG_1696_meitu_2.jpg" alt=" IMG_1696_meitu_2.jpg" width=" 581" height=" 371" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 2019扫描透射电子显微镜及相关分析技术研讨会顺利召开 /strong /p p 　　16日的研讨会由天津理工大学电子显微镜中心主任罗俊教授、天津大学/天津电镜学会姚琲教授、上海科技大学于奕博士、武汉理工大学胡执一博士联合主持，共有15个专家进行了报告。天津理工大学党委书记刘东志教授首先为大会作了开幕致辞：初夏时节，天津迎来了2019扫描透射电子显微镜及相关分析技术研讨会，刘教授代表天津理工大学对各位专家学者及学生的到来表示热烈的欢迎，感谢各位专家朋友多年来的支持与帮助。同时刘教授表示天津理工大学作为一个年轻的大学，今年将迎来它的40岁生日，理工大学一直以来秉承多学科发展模式，现今拥有本硕博学生20000余人，形成以院士、杰青、科技部引进人才、青千、优青、天津市特聘教授等一大批人才为核心的研究团队。借此研讨会，希望更多人才来到这里发展。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 306px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/e0ef9068-ed23-4606-81a9-d7657d4050f8.jpg" title=" 1_meitu_3.jpg" alt=" 1_meitu_3.jpg" width=" 450" height=" 306" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 刘东志书记作大会开幕致辞 /strong /p p 　　中科院金属所固体原子像研究部主任、中国电子显微学会副理事长马秀良教授首先作了“异质界面及其物理特性”的主题报告。马教授详细介绍了周期性晶体及八面体结构单元，对PbTiO3、BiFeO3铁电材料的研究成果进行了电子显微学的讲解。他通过实施应变调控制备得到具有四方相的PbTiO3铁电结构，利用球差校正电子显微技术、观察到铁电极化的现象，并且在环形明场成像与高角环形暗场成像下看到了O和Ti的位移特征、证实了PbTiO3铁电极化的现象。在研究中，他还发现了铁电材料的通量全闭合畴结构，并且通过调控异质界面、成功构建具有巨大的线性应变梯度的氧化物纳米结构。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 325px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/17eaacb2-922d-4ee6-b963-652189a83e77.jpg" title=" 2_meitu_4.jpg" alt=" 2_meitu_4.jpg" width=" 450" height=" 325" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 马秀良教授作会议特邀报告 /strong /p p 　　湖南大学陈江华教授作了题为“透射电镜先进定量化原子成像和分析系统及其在物理冶金方面的应用”的主题报告。陈教授主要介绍了在基金委资助下自主研制的定量化原子成像与分析平台及其应用，通过铝铜合金原位加热而发现的纳米析出及其成像、高锰TRIP/TWIP钢的原位拉伸等实验案例对平台进行了介绍。并从物镜像差测量系统、波函数重构与STEM三维重构、以及TEM和STEM衍射与成像精确模拟这三个方面对平台的主要功能和分系统完成情况进行详细讲解。该平台拥有三个物镜像差测量系统，自主设计的波函数重构与STEM三维重构可以在亚像素尺度上精确找回和校准所有图像的漂移，从而保证像平面波函数的精确重构，其GPU加速的三维重构算法也极大地提高了成像速度。该报告还结合自身研究成果介绍了定量电子显微技术的2维图像的3维重构。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 304px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/e4e62b49-571a-4ecd-bfb6-75904dd240ca.jpg" title=" 3_meitu_5.jpg" alt=" 3_meitu_5.jpg" width=" 450" height=" 304" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 陈江华教授作会议特邀报告 /strong /p p 　　清华大学魏飞教授作了题为“分子筛限域下单分子成像及碳催化行为”的主题报告，将电子显微技术应用到化工生产中。我国每年的乙烯等化工产品的消费量在上千亿元，而我国的石油储量并不多，因此用煤来代替石油生产乙烯等化工产品成为必经之路，在此过程中比较关键的一环是用于催化的分子筛。魏教授从sp2碳性质与碳催化过程、STEM-iDPC对分子筛的表征、以及碳催化高效合成烯烃和芳烃这三个方面对近些年的工作进行介绍。其中，配有iDPC的双球差校正透射电镜对ZSM-5、SAPO34/18分子筛的轨道分布、动态变化、分子筛中有机小分子的成像、单分子指针下的限域反应、分子占位下分子筛的形变进行了全面的解析。并探讨了分子筛孔的取向与堵塞的选择性影响、定向控制的分子筛对丙烯酸的选择性影响，且实现了限域分子调控、得到高选择性的丙烯提纯。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 316px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/8f3cadcc-33f7-4de7-9e1b-358d06258d29.jpg" title=" 4_meitu_6.jpg" alt=" 4_meitu_6.jpg" width=" 450" height=" 316" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　 strong 　魏飞教授作会议特邀报告 /strong /p p 　　北京工业大学隋曼龄教授作了“功能金属氧化物原位电镜研究的电子计量率控制”的主题报告。隋教授认为目前功能氧化物材料的电子束损伤是原位电镜技术最大的问题。通过研究电子束辐照下CeO/Fe2O3/CuO金属氧化物在水中的溶解、利用电子束辐照控制绝缘金属体转变、TiO2的原位电镜现象阐释了金属氧化物的电子剂量率控制。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 305px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/63098b97-7019-4d53-a45b-0474707fb358.jpg" title=" 5_meitu_7.jpg" alt=" 5_meitu_7.jpg" width=" 450" height=" 305" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 隋曼龄教授作会议特邀报告 /strong /p p 　　天津大学教授、天津电镜学会理事长姚琲老师作了“STEM功能扩展接口的开发”的主题报告。姚教授认为完整优良的STEM分析系统应该包括高亮度的电子枪、高汇聚能力的聚光镜、高灵敏度的TED、多探头EDS等部分。并从场发射电子源、EELS结构探讨未来STEM的发展方向。详细介绍了Ni1/3Co2/3(OH)2/RGO超级电容器复合材料、Ni1/3Co2/3(OH)2/CNT超级电容器复合材料、多孔硅与钯负载氧化钨纳米线复合材料-电阻型氨气传感器的STEM高分辨像、成分及化学分析。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 330px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/af8a3a4a-6202-4f4f-948d-c1c14c6c1465.jpg" title=" 6_meitu_8.jpg" alt=" 6_meitu_8.jpg" width=" 450" height=" 330" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 姚琲教授作会议特邀报告 /strong /p p 　　中科院物理所白雪冬教授作了“原位TEM技术及其物理研究应用”的主题报告，并对光、电、力、温度等外场调控自由度耦合及新生物理特性的产生与测量、超快光谱技术、球差校正电镜技术进行了详细的介绍。通过以LaCoO3相变与氧空位序动力学行为、BiFeO3薄膜铁电的电转变、PbTiO3/ SrTiO3超晶格涡旋畴的机械转变为例介绍了原位电镜光电力对材料物性的调控。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 436px height: 330px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/3fbe265a-dc6c-4c9e-9635-7ae2e0f7dcd7.jpg" title=" IMG_2168_meitu_19.jpg" alt=" IMG_2168_meitu_19.jpg" width=" 436" height=" 330" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 白雪冬教授作会议特邀报告 /strong /p p 　　中科院金属所杜奎教授作了“亚稳beta型钛合金中的可逆相变”的主题报告，通过透射电镜、STEM技术来解析一些传统的结构材料的力学性能与内部结构转换之间的关系，并对钛合金Ti-24Nb-4Zr-8Sn表现出来的伪弹性及(110)β、(113)β的取向进行了电镜测量分析。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 360px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/a0370e6a-e8a8-4809-a1a5-732681f54c6e.jpg" title=" 8_meitu_10.jpg" alt=" 8_meitu_10.jpg" width=" 450" height=" 360" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 杜奎教授作会议特邀报告 /strong /p p 　　南方科技大学何佳清教授作了“Advanced Electron Microscopy for Thermoeletric Materials”的主题报告，主要介绍了透射电镜在热电材料领域的应用。热电材料是将电和热进行相互转换，可以应用到发电、汽车尾气处理、智能材料等领域。何教授通过GeTe、Bi2Ti3- GeTe、Sb2Ti3-(GeTe)17三个热电材料分享了透射电镜在热电领域中的应用。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 325px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/194969e6-0d4f-490e-98c4-be59311db934.jpg" title=" 9_meitu_9.jpg" alt=" 9_meitu_9.jpg" width=" 450" height=" 325" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 何佳清教授作会议特邀报告 /strong /p p 　　华东师范大学黄荣教授作了“原子分辨能谱在先进材料研究中的应用”的主题报告。报告指出在特定的成分下才能有效地得到具有特定形貌、缺陷、界面、化学键的材料。而扫描透射电子显微镜的优点之一是在提供结构信息的同时能提供成分信息。黄教授通过Zn掺杂Cu2SnS3陶瓷中的阳离子有序与热导率、STO-LAO薄膜的原子尺度成分梯度及其压电效应、Ge2Sb2Te5立方-六方相变中的离子迁移三个案例介绍了原子分辨能谱在其中的应用。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 319px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/5f28dd19-903b-45f8-acc0-67569e3b1552.jpg" title=" 10_meitu_11.jpg" alt=" 10_meitu_11.jpg" width=" 450" height=" 319" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 黄荣教授作会议特邀报告 /strong /p p 　　天津大学凌涛教授作了“氧化物电催化剂表面原子结构调控和性能研究”的主题报告。报告中指出，发展新型的催化材料是解决目前面临的能源、环境问题的关键。纳米技术的发展、无论从理论计算角度还是实验角度都揭示了提高催化活性的关键点在于调控其原子结构，目前存在的一个挑战是非贵金属催化剂表面原子结构的精确调控。凌教授利用离子交换的方法调控氧化物催化剂表面原子结构，通过动力学控制得到具有表面缺陷及应力可控的新型材料，并对CoO、Ni/Zn掺杂CoO纳米线、Pt/ CoO催化材料的原子结构调控和性能研究进行了详细介绍。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 442px height: 325px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/25b3a88e-2090-408a-ae97-4ededd0c0a41.jpg" title=" 11_meitu_12.jpg" alt=" 11_meitu_12.jpg" width=" 442" height=" 325" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 凌涛教授作了会议特邀报告 /strong /p p 　　天津大学罗浪里教授作了“原子尺度气-固界面相互作用的环境透射电镜研究”的主题报告。报告中指出气体与固体表面的相互作用在气液催化、纳米材料生长、金属氧化腐蚀方面有着重要的影响，而一些传统手段在分析反应前后的表征时不能很好地发现其生长及反应的机制，利用环境透射电镜(ETEM)分析技术则能揭示反应的原子机理。罗教授通过在H2O及O2环境下表面氧化机理及生长机制的ETEM表征，展示了新一代ETEM的强大功能及前沿成果。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 300px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/6b7e45ee-7128-45b5-88f4-23872d365587.jpg" title=" 12_meitu_13.jpg" alt=" 12_meitu_13.jpg" width=" 450" height=" 300" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 罗浪里教授作会议特邀报告 /strong /p p 　　南方科技大学林君浩教授作了“结合透射电子显微镜与第一性原理计算探索二维材料的缺陷动态演变行为”的主题报告。林教授运用一种加盐的方法合成不同的单层材料，然后通过定量衬度分析技术确定化学成分，再建立原子模型进行运算，从而解释其新奇的物理特性。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 300px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/f68bd5da-b087-47a6-b2f0-d73655df9342.jpg" title=" 13_meitu_14.jpg" alt=" 13_meitu_14.jpg" width=" 450" height=" 300" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 林君浩教授作会议特邀报告 /strong /p p 　　兰州大学张宏老师代表其所在课题组作了“Atomic Observations of Crystal Structures of Low-Dimensional Magnetic Materials and Correlated Magnetism Origins”的主题报告。磁性材料已经广泛应用于日常生活、工业应用等领域，张宏老师所在课题组对CoFe2O4、Au-Fe3O4与La-doped SrFe12O19这三种磁性材料的磁性特征做了详细的电镜研究。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 316px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/962b43aa-55a4-4705-91cc-1defe69c38d1.jpg" title=" 14_meitu_15.jpg" alt=" 14_meitu_15.jpg" width=" 450" height=" 316" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 张宏博士作会议特邀报告 /strong /p p 　　对于材料的显微研究，新技术的发展很重要，此次研讨会中赛默飞公司和Gatan公司分别对其产品进行了深入的介绍。其中，赛默飞对Monochromated STEM、iDPC及S-CORR技术进行了介绍，Gatan公司主要介绍了产品在硬件和软件方面的升级、以及升级带来的新应用和更高质量的数据。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 445px height: 340px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/064ad8ec-34ef-4dc8-a59e-9b73d7288397.jpg" title=" 15_meitu_16.jpg" alt=" 15_meitu_16.jpg" width=" 445" height=" 340" border=" 0" vspace=" 0" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 赛默飞杨光博士作会议报告 /strong /p p style=" text-align:center" strong img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 450px height: 333px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/05650a71-d91f-4d96-b347-d7f0d6f40bbc.jpg" title=" 16_meitu_17.jpg" alt=" 16_meitu_17.jpg" width=" 450" height=" 333" border=" 0" vspace=" 0" / /strong /p p style=" text-align: center " 　　 strong Gatan袁昊博士作会议报告 /strong /p p 　　以上是会议第一天的内容。在各特邀报告开始之前，各位专家和所有参会人员进行了合影留念。 /p p style=" text-align:center" img style=" max-width: 100% max-height: 100% width: 576px height: 295px " src=" https://img1.17img.cn/17img/images/201905/uepic/a724edef-6b42-43c2-905c-531d76bff6f5.jpg" title=" 17_meitu_18.jpg" alt=" 17_meitu_18.jpg" width=" 576" height=" 295" / /p p style=" text-align: center " 　　 strong 参会人员合影留念 /strong /p p 　　 strong 关于天津理工大学电镜中心 /strong /p p 　　天津理工大学电镜中心依托于天津理工大学材料科学与工程学院和新能源材料与低碳技术研究院而建，致力通过先进电子显微技术在原子分辨的水平上表征材料的原子结构和化学信息及其在服役期间的演变，以揭示材料性能的根源、为设计新型高性能的材料提供科学建议。自2016年10月15日正式成立以来，该中心立足于以高水平的科研能力提供高水平的科研测试服务，不仅自己进行高水平的科研工作，也先后为国内外的400多个课题组和企业提供优质的测试服务。这些工作已在国内外学术期刊上发表多篇论文，包括至少14篇发表在Nature/Science系列、至少20篇发表在Adv. Mater. / JACS / Angew. Chem. Int. Ed.上。 /p p br/ /p

关于INSTEMS系统原位透射电子显微分析方法是实时观测和记录位于电镜内部的样品对于不同外场如力、热、电等激励信号的动态响应过程的方法，是当前物质结构表征科学中最新颖和最具发展空间的研究领域之一。受限于透射电镜样品室狭小的空间及特殊的结构，目前商业化的透射电镜原位力学样品杆多采用探针式力场加载，无法实现双轴倾转，大大限制了研究者从原子尺度下原位研究材料的力学行为及变形机制。针对这一世界性技术难题，百实创公司专项开发的INSTEMS系列透射电镜用原位原子尺度双轴倾转力、热、电一体化综合测试系统拥有独特创新设计的MEMS芯片以及与之相匹配的微驱动系统，保证了样品在透射电镜毫米尺度空间内实现力场与热场或电场耦合加载条件下，同时具备大角度正交双轴倾转功能，进而实现在多场耦合加载下材料原子尺度显微结构及其性能演化的原位观察与记录。该系统可实现1200℃高温下力热耦合加载，最大驱动力大于100mN，驱动行程大于4μm，最小驱动步长低于0.5nm，达到国际领先水平，极大的扩展了透射电子显微镜在材料科学原位研究领域的应用。本系统与各大品牌电镜有优异的机械及电磁兼容性，稳定性高，保证电镜原有的分辨能力。整合了独特创新设计的MEMS芯片与微型驱动器的高集成Mini-lab原位样品搭载平台，保证了不同形状、性质的样品在TEM中有稳定的力、热、电加载实验环境，并能精确控制参数变量；通过更换不同Mini-lab实验台，可以灵活的实现力、热、电单场或任意两场耦合加载，并能做到互不干扰。精密的结构设计保证样品能在场加载条件下实现大角度双倾，结合皮米级超高精度控制系统，确保显示的原子像无抖动、分辨率高。功能强大，操作便捷的控制软件提供了丰富的加载模式，并实时收集与处理数据，满足用户不同条件下的实验与测试设计要求。可实现多场耦合加载：ISTEMS系列产品具有高度集成的可定制化微型实验系统。通过更换不同功能的微型实验台（Mini-lab），该系列可灵活施加力、热、电等多种外场组合。Mini-lab独特的MEMS芯片设计和新颖的集成策略解决了小区域多场耦合加载兼容性难题。可独立控制多场加载，避免相互干扰。 原子尺度分辨率：INSTEMS系列结构紧凑的微型实验台和特殊设计的β轴倾转机构完美融合了多场耦合施加和双轴倾转功能，可轻松实现原子尺度分辨的动态观察。 高精度控制与测量：超灵敏微型驱动器稳定的四电极MEMS芯片 可靠的电学连接无干扰的电路布局 强大的高精度多通道源表确保INSTEMS系列产品可同时实现高精度加热、pm级驱动控制和pA级电信号测量。 适用范围极宽、功能易于扩展：INSTEMS系列适用于多种形态尺寸的材料（适用于块体以及一维、二维纳米材料）；可实现多种类型的多场耦合施加（热-力-电耦合）；加载灵活，可对样品进行拉伸加载、压缩加载、弯曲加载，也可进行纳米压痕实验；同时可根据用户需求进行功能扩展。适用于大部分固体无磁材料的研究。 关键技术指标与参数：热场指标温度范围室温~1200℃*加热速率＞10000℃/s温度精度≥98%测温方式四电极法EDS兼容性√力场指标驱动精度＜500pm最大驱动力＞100mN最大位移4μm电场指标最大输出电压±50V电流测量范围1pA-1A*电压测量范围100nV-50V双倾指标α角倾转范围±25°β角倾转范围±25°*驱动精度＜0.1°分辨率极限稳定性＜50pm/s*空间分辨率≤0.1nm* * 列出参数取决于Mini-lab型号与电镜状态。 硬件说明：样品杆部分包含双轴倾转样品杆与配套的Mini-lab实验台，MET型号样品杆可兼容所有类型的Mini-lab实验台。软件控制：力、热、电三场都具有丰富的加载模式可供选择：力场可选择单向拉/压加载或循环加载；电场拥有7种可供选择的波形加载；热场可自由设置温控程序。 应用范围1. 高温环境下的力学行为在力场与热场条件下原位实时观察材料原子像，并能获取成分信息。可应用于加速蠕变、高温相变、元素扩散、高温塑性变形、再结晶、析出相与位错的关系等方面的研究。原位原子尺度研究高温合金相在高温下（1150℃）的形变机理原位观察超级合金在400℃与750℃下塑性变形过程2. 高温环境下的电学行为 在热场与电场条件下原位实时观察材料原子像，并获取电场数据。可应用于热电材料、半导体、相变存储、电场可靠性分析、介电材料等领域的研究。 热电耦合条件下SnSe原位原子尺度失效分析3. 力与电场的交互行为在力场与电场条件下原位实时观察材料原子像，测量和控制样品电信号。可应用于压电材料、铁电材料、锂离子电池、柔性电子器件等领域的研究。 4. 力场、热场、电场单场条件下的材料组织变化可定量的控制单力场、热场、电场施加于样品，并实时原位的观察样品原子像及成分信息。高熵合金900℃条件下观察元素扩散创新点：一、独特设计的MEMS芯片以及与之相匹配的微驱动系统，保证了样品在TEM毫米尺度空间内，在力场与热场或电场耦合加载条件下具备大角度双轴倾转功能，进而实现在多场耦合加载下材料原子尺度显微结构及其性能演化的原位观察与记录。该系统可实现1200℃高温下力热耦合加载，驱动力大于100mN，驱动行程大于4μ m，最小驱动步长低于0.5nm，达到国际领先水平。 二、MEMS芯片采用特殊结构及材料设计，加热响应迅速（＞10000℃/s），温度精度高＞98%，热稳定好（＜50pm/s），使用寿命长（＞100h），相较于传统一次性使用的MEMS芯片，很大程度上降低了实验成本。 三、采用高度集成的可定制化微型实验系统，可实现力、热、电以及力热耦合，力电耦合和热电耦合等多种外场的施加。 四、适用范围广，不仅适用于多种类，多维度材料研究，还可实现包括拉伸、压缩、弯曲、纳米压痕等多种力场加载方式。 透射电子显微镜原位-原子尺度双倾力热电集成系统