色谱分析中面积归一法

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色谱分析中面积归一法相关的厂商

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    上海华爱色谱分析技术有限公司系上海市高新技术企业,全国气体标准化技术委员会委员,全国气体标准化试验研究与验证-色谱平台,全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会委员,中国工业气体协会理事单位,中国工业气体协会气体分析技术及仪器设备专业委员会副主任委员单位,公司致力于工业气体和电力系统两大领域的专用色谱仪的研发和生产,为国内专用色谱制造商。 华爱色谱自2004年成立以来,先后参与了1项国际标准ISO19230-2020《Gas analysis-Sampling guidelines》,和近百项《国家标准》的制修订工作。在气相色谱生产和应用领域,华爱色谱拥有几十项专利技术,先后承担过国家创新基金、重点新产品计划、火炬计划、成果转化等多项国家和上海市的科技项目,确立了华爱色谱在色谱分析行业内的地位。 座落于黄浦江畔的生产车间,具备完善的管理制度和的生产环境,2008年通过ISO9001国际质量管理体系认证;拥有GC-9560系列实验室气相色谱仪、HA-9660在线式气相色谱仪、GC-9760便携式气相色谱仪三大系列,二十余种产品,可配备FID、TCD、FPD、PDD、PED、ZrO2等各种检测器。 在电力行业,华爱色谱承担了GB/T 12022-2014《工业六氟化硫》和国网企业标准《SF6气体分解产物气相色谱分析方法》等标准的制修订工作 产品广泛应用于中国电力科学研究院、 冀北、 安徽省、 陕西省、重庆市、 天津市、 上海市、 福建省、 江苏省、 山东省、 浙江省、 四川省、 辽宁省、 黑龙江、 青海省等国网电力科学研究院、广东省电力科学研究院、 贵州省电力科学研究院、 广州供电局、 深圳供电局等南方电网直属单位,江西省检修公司、 河南省检修公司、 天津市检修公司等单位。 另外,华爱色谱在高纯气体和电子工业用气中痕量杂质检测的色谱仪设备,现已广泛应用于Air Liquide(液化空气)、Linde(林德集团)、Air Products(空气化工)、Praxair(普莱克斯)等国际名企;光明化工研究设计院、黎明化工研究设计院、中国计量科学研究院、中国科学院大连化学物理研究所、中国科学院理化技术研究所等科研机构;盈德气体、苏州金宏、福建久策、福建德尔、佛山华特、中船重工、宝武集团、首钢集团等国内名企。 华爱色谱荣获奖项:2016年荣获上海市科学技术三等奖2018年荣获安徽省科学技术一等奖2018年荣获中国电力科学技术三等奖2020年荣获中国机械工业科学技术三等奖2021年荣获第二十二届中国专利优秀奖2021年荣获广东省技术发明二等奖
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  • 上海科创色谱仪器有限公司是由上海大学(原上海科技大学)于1992年3月创办的,集*、生产、服务于一体的*分析仪器制造型企业,2015年1月加盟亚泰集团(筹)成为亚泰集团(筹)旗下一子公司,现座落于上海市宝山区城市工业园振园路128号,厂区占地面积21亩。 上海科创色谱三十多年来一直专注于气相色谱分析仪的创新与发展,致力于提供*而*的气相色谱分析解决方案,为客户提供具有竞争力的气相色谱产品和完善的售前、售中、售后服务。 本公司的产品遍及*各地,应用领域*,主要应用于高等院校、科研院所、石油化工、食品*、气体工业、环境保护、中西制*、包装材料、电力系统、煤矿冶金、司法鉴定、新型能源等。上海科创色谱期待与您的合作!
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  • 南京仁华色谱科技应用开发中心是专业从事色谱仪器技术和应用研究开发、生产经营和服务的高科技企业,同时代理和配套国内外先进分析仪器。公司致力于气相色谱分析方案整体解决的研究,为客户从售前仪器选型咨询、分析方法开发、仪器安装调试、使用人员技术培训、售后技术支持等全方位提供交钥匙式一揽子价廉质优的服务,让客户真正“买得放心,用得安心”,彻底免除仪器使用的后顾之忧。  公司自2004年成立以来业绩不断扩大,成功完成了多项色谱分析方案的开发与应用:油品及馏份油模拟蒸馏气相色谱分析系统,燃气(包括天然气、液化石油气、人工煤气、合成燃气等)专用气相色谱分析及热值测定系统,炼厂气专用气相色谱分析系统,煤制甲醇催化制轻烃汽油气相色谱分析系统,大气中痕量笑气N2O专用气相色谱分析系统,大气中非甲烷总烃和苯系物分析系统,汽油中甲乙醇含量气相色谱分析系统,高纯氢微量杂质和纯度色谱分析系统,食品级二氧化碳中微量苯及其他芳烃含量气相色谱分析系统,有机化工产品中微量水份含量专用气相色谱分析系统(带反吹功能),工业级六氟化硫SF6过程控制及产品质量分析专用气相色谱系统,电子级八氟丙烷CF8过程控制及产品质量分析专用气相色谱系统,精丙烯、精乙烯全分析气相色谱系统,二甲醚气相色谱分析系统,沼气气体成份及沼液中有机酸气相色谱分析系统,矿井气气相色谱分析系统,加氢脱硫催化剂性能评价气相色谱分析系统,储油罐中油气含量在线分析气相色谱系统、秸秆等生物质高温汽化气体成份在线气相色谱分析系统等等。  多年来,公司成功运用国内技术领先的GC9890系列气相色谱仪为许多客户单位解决了各种应用分析课题,得到了广大在用客户的好评。目前公司与中国石油大学、东南大学、南京中医药大学、南京农业大学、南京林业大学、西南石油大学、中国矿业大学、南京工业大学、中科院南京土壤研究所、江苏省农业科学研究院、安徽省产品质量监督检验研究院等科研院所均有良好的合作,从而赢得了高等院校、质检、科研机构、特种气体、环保、石化、化工、化肥、煤矿、制药、食品、电力、酿酒等众多领域客户的青睐。 由于GC9890B/A气相色谱仪等效采用了安捷伦公司5890气相色谱仪核心技术,许多用过安捷伦公司气相色谱仪的用户使用我公司产品也觉驾轻就熟,所以客户逐年增多。  公司拥有一支经验丰富、素质过硬的技术队伍,不乏具有长年在仪器生产、分析应用方面的高级工程师和专业技术人员,为客户仪器的顺利使用提供了强有力的技术保障。“诚信、守诺、服务社会”是我们的信念,“质量第一、信誉第一、真诚服务求发展”是我们的宗旨;为您服务,我们以此为荣;您的满意是我们不懈的追求,热忱欢迎您的惠顾。
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色谱分析中面积归一法相关的仪器

  • GC 5000 VOC 在线气相色谱分析仪监测低沸点臭氧前体物的最佳选择GC 5000 VOC 在线气相色谱分析仪,是为连续在线监测空气中C2-C6有机污染物而设计的,该款仪器设计紧凑,具有极高的灵敏度,检测限可达ppt级。GC 5000 VOC 分析仪可以单独使用,用于监测C2-C6臭氧前体物,(根据EU guideline 2002/3/EC,VDI guideline 2100和guidelines of the Technical Assistance Document EPA/600--R-98/161 of the American environmental protection agency EPA),也可以方便的与GC 5000 BTX分析仪配合使用,组成C2-C12臭氧前体物在线监测系统。先进的采样富集技术GC 5000 VOC 分析仪采用双级富集模块用于低沸点、易挥发性有机物浓缩进样:当易挥发性有机物在第一级富集模块采样完成后,加热解析使样品转移到第二级富集模块中并再次被吸附,然后再次加热解析后样品进入色谱柱中分离,采样过程由内置电脑控制自动完成,并可以方便地调整采样参数。 双级富集技术使低碳数有机物如乙烯和乙块等的穿透体积大于800ml,并且色谱峰形锐利,保证出色的分离效果。样品浓缩富集温度通常为0℃以上,避免样品在高湿度条件下冷凝后堵塞采样管路。 卓越的分析能力采用低维护隔膜泵在样品管线末端自动采集样品,避免样品间的交叉污染;采样量是由质量流量计测量提供的标准状况下的采样体积,避免气压和温度变化带来的偏差。 GC 5000 VOC采用反吹技术,进样后样品中的湿气和高沸点有机物会在预处理柱中被反吹掉,因此消除了湿气和高沸点有机物对下个分析周期中待测物的干扰,保证了保留时间的稳定性及色谱峰的识别。同时反吹技术也缩短了分析周期,延长了分析住的使用寿命。 可选配的显示和控制单元使用户可通过触摸屏进入仪器的维护及诊断功能。所有的参数和分析方法可以用便捷的方式进行编辑。仪器的实际工作状态、色谱图及分析结果由采色显示屏显示。 在监测子站的可靠运行GC 5000 VOC 在线气相色谱分析仪是经过特别的研发,适合于安装在监测子站或流动实验室内,进行连续的污染物质监测。仪器和软件的设计,使仪器能稳定可靠的运行,而无须任何人工干预。 可以通过以太网对仪器进行远程控制,以便进行数据、谱图查阅及故障诊断等操作;通过标准通讯协议可以进行仪器状态和数据等的传输。 为确保仪器的正常运行,仪器的所有控制单元、操作系统及软件都会被连续监控。任何错误信息都会记录并存储到日志文件中;如果出现系统故障,计算机会自动重新启动,仪器会自动开始下一个分析周期。 应用范围环境空气监测,污染源排放影响控制。C2以上的脂肪烃(乙烷、乙烯、乙炔、丙烷、丙烯、1,3-丁二烯等)C1以上的氯化烃类(氯甲烷,氯乙烷,二氯甲烷,氯乙烯等)常规指标机箱19”嵌入式机箱高6U深600mm重量约33kg安装设计机柜/导轨安装,推荐可滑动、伸缩式安装工作温度0-40℃湿度5-95%无冷凝EMCCE标识,符合EMC-guidelines 89/336/EEC电源220-250VAD,50-60Hz耗电量最大800W载气N2,GC等级,至少3bar辅助气助燃空气,GC级,至少3bar;H2,GC级,至少3bar连接件1/8”卡套接头压力控制减压阀;载气压力的电子读数显示;显示辅助气压的压力表流量 质量流量控制器对氢气流量的准确控制采样采样低维护的薄膜泵进行自动采样体积测量质量流量控制器精确测量和控制样气量,不受气压和温度变化的影响采样时间0-99min (可调)流量10-50 sccm/min (可调)样气量标准200-800 sccm(可调)富集-GC 5000 VOC 富集模块双级富集模块对C1-C6有机物质进行样品预浓缩、热解析和二次浓缩富集温度标准10℃(可调)解吸温度最大350℃(可调)加热速度可达到40 ℃/秒浓缩温度标准30℃(可调)进样温度最大350℃(可调)进样阀加热箱衬垫不锈钢内部尺寸H 210mm x W 80mm x D 55mm加热阀组温度控制,30-150℃可调阀GC 5000 VOC 3个电驱动 6通 VALCO 阀GC 5000 VOC basic 1个电驱动 6通 VALCO 阀色谱柱箱村垫不锈钢内部尺寸H 210mm x W 210mm x D 55mm预处理柱极性熔融石英毛细管柱,长度15-30M分析柱熔融石英毛细管柱,长度25-50m加热强制通风加热温度范围40℃至210℃温度控制闭环PID,设置分辨率1℃温度程序3阶程序升温,4个等级温线保持加热速度1℃/分钟至25℃/分钟,设置分辨率1℃/分钟柱箱冷却强制风冷检测器FIDFID-火焰离子检测器温度控制的检测器组件使信号输出特别稳定检测器线性响应放大器输出0-5VDC线性107通讯通讯端口以太网,RS232/RS485,4X USB,PS2,VGA协议GESYTECⅡ,需要其它协仪应事先说明选项带触摸展操作的显示和控制面板各种I/O口,提供模拟输出和数字I/O校准气体选择器(样气,校准气1,校准气2)供给FID 的助燃空气源
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  • GC5000 BTX 在线气相色谱分析仪专门为监测空气中的有机污染物研发GC5000 BTX 在线气相色谱分析仪是为连续在线监测空气中C4-C12有机污染物而设计的,该款仪器设计紧凑,具有极高的灵敏度,检测限可达ppt级。 GC 5000 BTX分析仪可以单独用,用于监测苯系物等芳香烃(Guideline 2000/69/EC),有机硫化物、卤代烃和C4-C12臭氧前体物(根据EU guideline 2002/3/EC,VDI guideline 2100和guidelines of the Technical Assistance Document EPA/600-R-98/161),分析仪还可连接监测C4-C12范围内的臭氧前体物。也可以方便的与GC 5000 VOC分析仪配合使用,组成C2-C12臭氧前体物在线监测系统。 超强的分析能力GC 5000 BTX具有卓越的分析能力、超强的检测灵敏度和经久耐用的设计,保证了仪器连续无故障地运行。 采用低维护隔膜泵在样品管线末端自动采集样品,避免样品间的交叉污染;采样量是由质量流量计测量提供的标准状况下的采样体积,避免气压和温度变化带来的偏差。 有机物在单级富集模块中采样完成后,加热解析使样品进入色谱住分离。采用这种方法,苯的最低检出限可达≤30ppt。 样品体积经过能提供标况体积的质量流量传感器的准确测量。即使在大气压及温度出现波动时,也可保证样气采样极高的重现性。 色谱柱箱温度可达210℃,最大升温速率为25℃/min。快速的升温速度、较高的柱箱温度和专用的色谱柱,使得分析仪在较短的分析周期内获得极好的分离效果,提高了色谱峰的识别和数据的准确性;同时也避免了高沸点有机物残留污染。 可选的触摸屏能帮助用户便捷地进入维护和诊断功能。所有的参数和分析方法也可以方便地进行编辑。彩色显示屏上可显示仪器的实际工作状态、色谱图及分析结果等。 在监测子站的可靠运行GC 5000 BTX在线气相色谱分析仪是经过特别的研发,适合于安装在监测子站或流动实验室内,进行连续的污染物质监测。仪器和软件的设计,使仪器能稳定可靠的运行,而无须任何人工干预。 可以通过以太网对仪器进行远程控制,以便进行数据、谱图查阅及故障诊断等操作;通过标准通讯协议可以进行仪器状态和数据等的传输。为确保仪器的正常运行,仪器的所有控制单元、操作系统及软件都会被连续监控。任何错误信息都会记录并存储到日志文件中;如果出现系统故障,计算机会自动重新启动,仪器会自动开始下一个分析周期。 应用范围环境空气质量监测,污染源排放影响控制。芳香族化合物(苯系物,苯乙烯,三甲苯,乙烷基甲苯等)脂肪烃(1,3-丁二烯,甲基环戊烷,甲基已烷等)氯代烃(氯乙烯,三氯乙烯,四氯乙烯等)常规指标机箱19”嵌入式机箱高6U深600mm重量约33kg安装机柜/导轨式安装温度0-40℃湿度5-95%无冷凝EMCCE标识,符合EMC-guidelines 89/336/EEC电源220-250VAC,50-60Hz耗电量最大800W载气N2 GC 等级,至少3bar辅助气助燃空气,GC等级,至少3barH2,GC等级,至少3bar(仅用于FID检测器)连接件1/8”卡套接头压力控制减压阀;载气压力的电子读数显示;显示辅气压力表(仅用于FID)采样采样低维护的薄膜泵,自动采样体积测量质量流量控制器精确测量和控制样气量,不受气压和温度变化的影响采样时间0-99 min(可调)流量2-50 sccm/min (可调)样气量标准200-800 sccm(可调)富集富集模块带热解析装置的单级富集模块,用于≥C4有机物质的预浓缩富集温度标准30℃解吸温度最大350℃(可调)加热速度达到40℃/秒的加热速度保证了高速进样,使色谱峰分离最优化进样阀加热箱衬垫不锈钢内部尺寸H 210mm x D 80mm x W 55mm加热阀组温度控制,30-150℃可调样气阀6通VALCO阀,电驱动色谱住箱衬垫不锈钢内部尺寸H 55mm x W 210mm x D 210mm分析住石英毛细住,最长可达60m加热强制通风加热温度范围40℃至210℃温度控制闭环PID,设置分辨率1℃温度程序3阶程序升温,4个等温线保持加热速度1℃/分钟至25℃/分钟,设置分辨率1℃/分钟柱箱冷却强制风冷检测器(可选)FIDFID-火焰离子检测器温度控制的检测器组件使信号输出特别稳定补偿气体的接入强了检测灵敏度FID的线性107放大器输出0-5 VDCPIDPID-光离子检测器无电极、射频激发紫外灯增强了紫外光强度并延长使用寿命温度控制的检测器组件使信号输出特别稳定放大器输出0-5 VDC通讯通讯端口以太网,RS232/RS485,4 x USB,PS2,VGA协议GESYTECⅡ,需要其它协仪应事先说明选项带触摸屏操作的显示和控制面板各种I/O口,提供模拟输出和数字I/O校准气体选择器(样气,校准气1,校准气2)供给FID的助燃空气源
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  • 产品简介工业在线色谱分析仪采用自动化的取样、前处理和进样系统,防爆和防护设计,可以广泛用于炼油、石化、化工、冶金、制药和电力领域各个生产阶段的气体和可气化的液体成分的浓度的在线分析。产品特点无需小屋集成,成本低,安装工程施工简单;可贴近取样点安装,滞后短,损失小,取样故障率低;模块化设计,现场更换色谱柱从3天缩短到3小时;软件智能诊断各核心部件健康状态。应用领域冶金、炼油、石化、化工、天然气等行业。
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色谱分析中面积归一法相关的资讯

  • 盘点!常用气相色谱分析方法
    1.归一化法  把所有出峰的组分含量之和按100%计的定量方法,称为归一化法。  各成分校正因子一致时可用该法,该法简便、准确,特别是进样量不容易准确控制时,进样浓度及进样量的变化的影响很小。  其他操作条件,如流速、柱温等变化对定量结果的影响也很小。GC应用广于HPLC。2.外标法(标准曲线法、直接比较法)  首先用欲测组分的标准样品绘制标准工作曲线。具体作法是:用标准样品配制成不同浓度的标准系列,在与欲测组分相同的色谱条件下,等体积准确量进样,测量各峰的峰面积或峰高,用峰面积或峰高对样品浓度绘制标准工作曲线,此标准工作曲线应是通过原点的直线。若标准工作曲线不通过原点,说明测定方法存在系统误差。标准工作曲线的斜率即为绝对校正因子。  当欲测组分含量变化不大,并已知这一组分的大概含量时,也可以不必绘制标准工作曲线,而用单点校正法,即直接比较法定量。单点校正法实际上是利用原点作为标准工作曲线上的另一个点。因此,当方法存在系统误差时(即标准工作曲线不通过原点),单点校正法的误差较大。因此规定,y=ax+b 。b的绝对值应不大于100%响应值是y的2%。  标准曲线法的优点:绘制好标准工作曲线后测定工作就很简单了,计算时可直接从标准工作曲线上读出含量,这对大量样品分析十分合适。特别是标准工作曲线绘制后可以使用一段时间,在此段时间内可经常用一个标准样品对标准工作曲线进行单点校正,以确定该标准工作曲线是否还可使用.  标准曲线法的缺点:每次样品分析的色谱条件(检测器的响应性能,柱温度,流动相流速及组成,进样量,柱效等)很难完全相同,因此容易出现较大误差。另外,标准工作曲线绘制时,一般使用欲测组分的标准样品(或已知准确含量的样品),因此对样品前处理过程中欲测组分的变化无法进行补偿。3.内标法  选择适宜的物质作为欲测组分的参比物,定量加到样品中去,依据欲测组分和参比物在检测器上的响应值(峰面积或峰高)之比和参比物加入的量进行定量分析的方法称为内标法。  内标法的关键是选择合适的内标物。内标物应是原样品中不存在的纯物质,该物质的性质应尽可能与欲测组分相近,不与被测样品起化学反应,同时要能完全溶于被测样品中。内标物的峰应尽可能接近欲测组分的峰,或位于几个欲测组分的峰中间,但必须与样品中的所有峰不重叠,即完全分开。一般会选择标准物质的同位素物质作为内标物。  内标法的优点:进样量的变化,色谱条件的微小变化对内标法定量结果的影响不大,特别是在样品前处理(如浓缩、萃取,衍生化等)前加入内标物,然后再进行前处理时,可部分补偿欲测组分在样品前处理时的损失。若要获得很高精度的结果时,可以加入数种内标物,以提高定量分析的精度。  内标法的缺点:选择合适的内标物比较困难,内标物的称量要准确,操作较麻烦。使用内标法定量时要测量欲测组分和内标物的两个峰的峰面积(或峰高),根据误差叠加原理,内标法定量的误差中,由于峰面积测量引起的误差是标准曲线法定量,但是由于进样量的变化和色谱条件变化引起的误差,内标法比标准曲线法要小很多,所以总的来说,内标法定量比标准曲线法定量的准确度和精密度都要好。4.标准加入法  标准加入法实质上是一种特殊的内标法,是在选择不到合适的内标物时,以欲测组分的纯物质为内标物,加入到待测样品中,然后在相同的色谱条件下,测定加入欲测组分纯物质前后欲测组分的峰面积(或峰高),从而计算欲测组分在样品中的含量的方法。  标准加入法的优点:不需要另外的标准物质作内标物,只需欲测组分的纯物质,进样量不必十分准确,操作简单。若在样品的前处理之前就加入已知准确量的欲测组分,则可以完全补偿欲测组分在前处理过程中的损失,是色谱分析中较常用的定量分析方法。  标准加入法的缺点:要求加入欲测组分前后两次色谱测定的色谱条件完全相同,以保证两次测定时的校正因子完全相等,否则将引起分析测定的误差。
  • 寻觅色谱分析中的神仙水!
    小月,最近我们的色谱实验出现了诡异的现象,快来帮我们排查下。老师您在做什么实验,出现了什么问题呢?我们一直在用月旭Ultimate XB C18和AQ C18在做5009.35的着色剂项目,手头的两根柱子都出现了进标样后,日落黄和亮蓝仍然出峰,但出峰拖尾,而胭脂红和苋菜红、柠檬黄、新红等不出峰的现象老师您有用新的色谱柱重复过实验吗,是否能正常呢?实验室用新的Ultimate AQ C18重复实验,出峰正常。但异常的色谱柱冲洗后送至其他实验室做对比实验,出现同样的出峰异常情况附上客户实验图经过小月和老师的沟通,抽丝剥茧的排查,最终我们确定应该是实验用水污染造成色谱柱的污染和改性,从而引起分析结果异常的情况。目前客户已经全面更换超纯水仪中的净化耗材,实验恢复正常。通过这个售后案例,小月今天带大家一起认识不同的实验用水,让我们一起来看哪个才是液相色谱分析中的神仙水!01蒸馏水是指用蒸馏方法制备的纯水。可分一次和多次蒸馏水。水经过一次蒸馏,不挥发的组分残留在容器中被除去,挥发的组分进入蒸馏水的初始馏分中,通常只收集馏分的中间部分,约占60%,要得到更纯的水,可在一次蒸馏水中加入碱性高锰酸钾溶液,除去有机物和二氧化碳;加入非挥发性的酸(硫酸或磷酸),使氨成为不挥发的铵盐。通过对双蒸水进行 HPLC 检测时发现,254nm 和 214nm在 22-27 分钟时都出现较强的吸收峰,这表明有疏水性较强的有机物污染,其原因应是蒸馏过程的共沸现象导致了某些挥发性有机物去除不彻底。02去离子水应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子,但水中仍然存在可溶性的有机物,可以污染离子交换柱从而降低其功效,去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。03反渗水反渗水克服了蒸馏水和去离子水的许多缺点,利用反渗透技术可以有效的去除水中的溶解盐、胶体,细菌、病毒、细菌内毒素和大部分有机物等杂质,但不同厂家反渗水质量差别很大。04超纯水超纯水综合了反渗透、离子交换、活性炭吸附、膜过滤、超滤及紫外光氧化等多种纯化工艺,产水电导率达到18.2MΩcm,产水水质超过国标一级水标准且稳定可测,超纯水即取即用,不会因储存引入污染,水质有保证,更能满足用于使用高精度仪器分析的需求。就是它啦,色谱分析中的神仙水!针对不同的分析试验领域,国家标准GB/T6682-2008中规定需使用不同级别的分析实验室用水。
  • 赋能创“芯” | 赛默飞电子气体气相色谱分析解决方案
    赋能创“芯” | 赛默飞电子气体气相色谱分析解决方案原创 飞飞 赛默飞色谱与质谱中国 关注我们,更多干货和惊喜好礼高丽电子气体是半导体工业中使用的一类特殊气体,广义上的电子气体是指具有电子级纯度的特种气体,广泛应用在包括集成电路、显示面板、半导体照明和光伏等泛半导体行业。电子气体按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。其中,特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺,高纯气体则主要用作稀释气和运载气。按纯度等级和使用场合分类,可以分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。按用途可分为大宗气体,包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气、二氧化碳等;电子特种气体,包括笑气、氨气、三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、甲烷等气体。电子气体的使用对电子工业的发展至关重要,随着技术的进步,对电子气体纯度和洁净度的要求也越来越高,需要达到5N(99.9999%)以上的纯度,因为即使是痕量级杂质和污染物也会对最终器件质量和制造产量造成严重影响。赛默飞针对电子大宗气体、电子特气分析需求,推出高纯气分析解决方案。配置Trace1600系列气相色谱主机、脉冲放电氦离子检测器(PDD)、可安装色谱柱的大体积阀箱、带吹扫保护气阀的多阀多柱分析系统等,为用户提供数十种电子气体杂质的检测方案。01高纯氙中杂质分析氙气是一种天然稀有的惰性气体。由于具有较高的密度,低导热系数及可吸收X射线等特征,氙气被广泛的应用于电子电器,光电工业,医疗,电子芯片制造等行业。近年来随着氙气被应用于越来越多高端性产品的生产,行业对氙气纯度的要求也非常严格。赛默飞Trace GC-PDD系统可对高纯氙气中ppb及至ppm级浓度的氢气,氩气,氧气,氮气,一氧化碳,甲烷,二氧化碳,氧化亚氮,氪气,六氟化硫,六氟乙烷等杂质进行定性定量检测,其灵敏度完全符合GB/T 5828-2006的要求,同时具有优异的分离度和重现性。1.1仪器配置及色谱分析条件表1 气相色谱仪仪器配置及色谱分析条件(点击查看大图)1.2氙气中杂质分析色谱图如图1所示,标准气体中氢气,氩气,氧气,氮气,一氧化碳,甲烷,二氧化碳,氧化亚氮,氪气,六氟化硫,六氟乙烷等组分均得到良好的分离效果,氧气和氩气实现了基线分离(分离度大于1.5)。标气中浓度较大的氙气组分通过反吹放空,不进入检测器,从而避免了样品中氙气基质对目标组分的干扰。图1 高纯氙气中杂质典型色谱图(点击查看大图)1.3重现性表2分别列出了各个组分样品连续进样6次的峰面积重现性:各个组分的峰面积相对标准偏差(RSD)均低于1%;表3分别列出了各个组分样品连续进样6次的保留时间重现性:各个组分的保留时间重现性相对标准偏差(RSD)均低于0.01%。表2 各杂质连续6针进样峰面积重现性(点击查看大图)表3 各杂质连续6针进样保留时间重现性(点击查看大图)从测试结果可以发现,方案完全满足国标GB/T 5828-2006中对各杂质组分的检测要求。Trace GC-PDD系统在高纯氙气痕量杂质的分析中表现出优异的性能。反吹技术避免了氙气基质对系统的干扰,高分离效率色谱柱的使用实现了无需使用冷却装置即可分离氩气和氧气。02高纯氪中杂质高纯氪无色、无臭、无味、无毒、不可燃的单原子气体,化学上惰性。广泛应用于各类照明中,是良好的保护气和发光气。还应用于电真空、激光器、医疗卫生等领域。目前,高纯氪主要由大型空分设备从空气中提取,因其在空气中含量极少。因此售价高昂,被誉为“黄金气体”。由于高纯氪中杂质组分含量要求极低,脉冲放电氦离子化检测器(PDD)对痕量杂质组分有很高的灵敏度,被用于做高纯气体中痕量杂质的检测。针对以上检测需求,赛默飞采用Trace 1600系列气相主机、带有脉冲放电氦离子检测器(PDD)、多阀多柱分析系统,实现稀有气体高纯氪中痕量的氢气,氩气,氧气,氮气,一氧化碳,四氟化碳,甲烷,二氧化碳,氙等9种杂质含量的检测。方案分离效果好,检测限低,重复性好,完全满足标准GB/T 5829-2006 氪气的检测要求。2.1仪器配置及色谱分析条件表4 气相色谱仪仪器配置及色谱分析条件(点击查看大图)2.2氪气中痕量杂质分析色谱图按照2.1的色谱分析条件,对标气样品进样测定。如图2所示,以高纯氪为底的标准气体中痕量的氢气,氩气,氧气,氮气,一氧化碳,四氟化碳,甲烷,二氧化碳,氙各组分离效果理想,氧气和氩气实现了基线分离(分离度大于1.5)。标气中绝大部分的基质组分氪气通过阀切换被放空,不进入检测器,从而避免了基质组分氪气对痕量目标组分的干扰。图2 高纯氪气中痕量杂质典型色谱图(点击查看大图)2.3重复性连续进标气样品6针,考察高纯氪标气中各样品组分的峰面积重复性,其峰面积相对标准偏差(RSD)均低于2.33%,重复性结果见表5;表6是高纯氪标气中各个样品组分连续进样6次的保留时间重复性结果,其保留时间重复性相对标准偏差(RSD)均低于0.03%。表5 高纯氪标气中各杂质组分连续6针进样峰面积重复性结果(点击查看大图)表6 高纯氪标气中各杂质组分连续6针进样保留时间重复性结果(点击查看大图)从测试结果可以发现,方案完全满足国标GB/T 5829-2006中对各个杂质组分的检测要求。方案实现一次进样,完成高纯氪中多痕量杂质组分的检测,通过阀放空技术,有效避免了高纯氪基质对痕量杂质的干扰;优化的色谱柱分析系统实现了样品气中氩气和氧气的基线分离。03电子特气六氟化硫和三氟化氮中杂质分析赛默飞针对电子气体六氟化硫和三氟化氮中杂质检测的要求,配置 Trace 1610和大体积色谱阀箱、双通道设计、配置两个PDD检测器。一次进样实现六氟化硫和三氟化氮样品中H2, O2+Ar, N2, CH4, CO, CF4, CO2, SF6, N2O, SO2F2杂质组分分析,方案满足标准GB/T 21287和GB/T 18867的检测要求。3.1仪器配置及色谱分析条件表7 气相色谱仪仪器配置及色谱分析条件(点击查看大图)3.2六氟化硫和三氟化氮中杂质分析色谱图按照3.1的色谱分析条件,分别对六氟化硫标气和三氟化氮标气样品进样测定。F-PDD通道用于分析六氟化硫和三氟化氮样品中H2, O2+Ar, N2, CH4, CO, 杂质组分;B-PDD通道用于分析六氟化硫和三氟化氮样品中CF4, CO2, SF6, N2O, SO2F2杂质组分。六氟化硫中杂质组分典型色谱图见图3和图4;三氟化氮中杂质组分典型色谱图见图5和图6。图3 六氟化硫中杂质分析F-PDD通道色谱图(点击查看大图)图4 六氟化硫中杂质分析B-PDD通道色谱图(点击查看大图)图5 三氟化氮中杂质分析F-PDD通道色谱图(点击查看大图)图6 三氟化氮中杂质分析B-PDD通道色谱图(点击查看大图)滑动查看更多3.3重复性连续进标气样品6针,考察三氟化氮标气中各样品组分的峰面积重复性,其峰面积相对标准偏差(RSD)均低于2.88%,重复性结果见表8。表8 电子气体三氟化氮标气中各杂质组分连续6针进样峰面积重复性结果(点击查看大图)从测试结果可以发现,方案完全满足国标GB/T 21287和GB/T 18867中对各个杂质组分的检测要求。方案实现一次进样,双通道同时分析,完成电子气体六氟化硫和三氟化氮中杂质的检测。总 结赛默飞提供模块化气相色谱仪(Trace 1600系列)、模块化PDD检测器、搭载功能强大的大体积阀箱多阀多柱分析系统,为多种电子气体中痕量杂质分析提供高效的解决方案。实现一次进样,完成样品中痕量杂质组分的检测;方案通过阀放空技术,有效避免了高纯基质组分对痕量杂质的干扰;方案可提供填充柱分析系统或毛细柱分系统,优化的毛细柱分析系统实现了样品气中微量氩气和氧气的基线分离。此外,赛默飞在电子气体、高纯气分析领域,为广大用户提供更多完全定制化的解决方案,满足用户各不相同的检测需求。如需合作转载本文,请文末留言。

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