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薄膜样品中喷金后表面形态检测方案

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检测项目 喷金后表面形态

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详细介绍小型离子溅射仪对样品,尤其是薄膜样品的多种处理方法,包括样品分离方法、喷金前后、喷金时间、溅射电流大小等等,并对其效果进行比对,从而获得最佳溅射喷金效果。

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溅射仪喷金前后样品的电镜图像对比 -唐辉 摘要:想要得到一个好的效果,不仅仅是调整仪器参数,前处理更重要。关于样品处理方面一直没有得到好的方案。下面对于单种样品的处理方法做了一个比较。 测试仪器:台式扫描电镜 仪器型号:Phenom G2 pro 仪器参数:见图标 测试结果:见图片 比较样品的前处理过程,所以仪器的参数保持不变。 首先比较样品的切割与冷冻脆断比较(未喷金,同一批样品) 冷冻脆断样品 手术刀切割样品 样品未喷金与喷金比较(采用同一个样品) 未喷金样品 喷金样品 喷金时间长短比较(同一个样品) 喷金120s(实际大概90s) 喷金180s(实际150s左右) 正常喷金与电流过大的比较(同一个样品) 正常喷金样品(时间180s) 电流过大出现闪电喷金 结论: 1、中空纤维膜的导电性弱,在低倍数上可以选择不喷金,高倍下需要喷金处理。 2、样品需要脆断,切割样品会破坏结构。 3、喷金时间设置成180S的状态下效果较好。 4、电流过大,出现闪电喷金会灼伤样品的表面,如出现闪电情况,需要重新制样。 5、好的镀膜设备对于样品观测效果起到至关重要的作用。

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北京裕隆时代科技有限公司为您提供《薄膜样品中喷金后表面形态检测方案 》,该方案主要用于其他中喷金后表面形态检测,参考标准《暂无》,《薄膜样品中喷金后表面形态检测方案 》用到的仪器有裕隆时代LJ-16离子溅射仪、裕隆时代LJ-16T高真空镀膜机。

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