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裕隆时代LJ-16T高真空镀膜机

报价 ¥10万 - 30万

品牌

裕隆时代

型号

LJ-16T

产地

中国大陆北京

应用领域

共1个

国产

LJ-16T高真空热蒸发镀膜仪(镀膜机)

产品描述:

LJ-16T高真空热蒸发镀膜仪(镀膜机),由裕隆时代公司精心设计制作,是专为扫描电镜和电子探针等进行试样制备的设备。可以在高纯氩气保护下进行多种离子处理,也可真空蒸碳和真空蒸金属。用于样品的外貌观察,尤其对成份定量分析更为适宜。采用分子泵系统,特别适于对真空要求高,真空环境好的用户选用。 应用领域:离子喷涂、离子溅射、离子清洗、真空蒸碳、真空蒸金属等工作。

 

技术参数 

 ?  仪器尺寸:480mm W x 320mm D x 240mm H

 ?  工作腔室:硼硅酸盐玻璃 160mm Dia x 120mm H 

 ?  真空系统:  涡轮分子泵,抽速为70L/s
      旋转机械泵:抽速为2L/s两级旋转机械泵,带防返油电磁阀及油污过滤器 

 ?  真空测量:采用复合真空计监测真空

 ?   极限真空度:  10-4mbar两级

 ?  工作真空度:10-1mbar(溅射真空度手动调整)

 ?  工作气体:溅射工作气体:氩气

 ?  溅射电流:0-20mA(磁控溅射靶0-100mA)

 ?  微调真空气阀:可连接φ3mm软管

 ?  电源:230伏/50Hz(包括泵最大电流为6安培)

 

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