生物样品中3D EBSD分析检测方案(扫描电镜)

智能文字提取功能测试中

TESCAN CHINA上海市闵行区联航路1688弄旭辉国际28号楼1层TEL： 86-21-64398570 FAX：86-21-64806110Email： market@tescanchina.comWebsite： www.tescan-china.com FIB-SEM 双束电镜应用之生物 3D EBSD分析 EBSD 技术是近年来发展比较迅速的一项材料微观表征技术，越来越受到材料研究工作者的青睐。随着 FIB-SEM 的普及， 3D EBSD 技术也逐步进入材料学者的视野，但是由于以前在设计上没有认真的考虑 3D EBSD 使用的方便性，使得这一技术迟迟没有得到发展。 EBSD， 即电子背散射衍射技术，是利用 SEM 快速测定样品表面的微区晶体取向，并可以根据微区晶体取向的信息来表征材料的微观结构：例如晶粒尺寸，相分布，织构，晶界分析，应变等等。由于 EBSD 可以同时提供多方位的材料微观信息，所以这项技术在材料研究和材料失效分析中越来越受到重视。 铝合金焊缝区域的晶粒取向的 EBSD 数据 铝合金焊接部位的应力分布的 EBSD 数据 机械变形引发钢的奥氏体(红色)向铁素体(蓝色)的转变 而 3D EBSD则是利用 FIB-SEM 的FIB对样品表面进行连续切割，每完成一次切割都对该表面进行 EBSD 数据采集，最后利用三维重构技术将连续切割的面进行三维重构，得到样品分析区域的3D EBSD数据3D数据可以准确的对材料的晶界面进行表征，另外还可以提供一些2D EBSD所不具备的信息。 上海市闵行区联航路1688弄旭辉国际28号楼1层 Website： www.tescan-china.com FIB 对样品进行连续切片， SEM 对每一切片表面进行 EBSD 数据采集 3D EBSD 的重构后的数据和识别出的其中一个晶粒 TESCAN FIB-SEM 专门针对 3D EBSD 进行了几何方位的设计，使得 3D EBSD 的数据采集非常方便。以前由于 FIB离子枪和 EBSD 探测器位置的冲突，无法实现原位的切割和 EBSD数据采集，也就是在每次切割完成后要经过复杂的样品台旋转和移动后才能进行 EBSD 数据采集。这个过程浪费大量时间同时样品台的精度不高也造成了数据采集过程中很容易中容。而 TESCAN 的设计则完全不同，能够实现静态的 3D EBSD数据采集，即在 FIB 切割和 EBSD 数据采集过程中样品始终保持静止，这大大提高了 3D EBSD 数据采集的成功率。 Website： www.tescan-china.com 由于这种静态的 3D EBSD功能，这沐技术就会在材料研究领域发挥更大的作用；例如，因为FIB 可以加工的区域只能适用于20um的尺度，所以采用 FIB定点切割的功能提取感兴趣的区域进行3D数据采集，如下图是适用纳米机械手提取的一个颗粒进行的3D EBSD 分析。 纳米机械手提取的一个颗粒，随后的 FIB将对此颗粒进行切割并采集 3D EBSD数据 第页，共页TESCAN CHINA， Ltd. EBSD技术是近年来发展比较迅速的一项材料微观表征技术，越来越受到材料研究工作者的青睐。随着FIB-SEM的普及，3D EBSD技术也逐步进入材料学者的视野，但是由于以前在设计上没有认真的考虑3D EBSD使用的方便性，使得这一技术迟迟没有得到发展。       EBSD，即电子背散射衍射技术，是利用SEM快速测定样品表面的微区晶体取向，并可以根据微区晶体取向的信息来表征材料的微观结构：例如晶粒尺寸，相分布，织构，晶界分析，应变等等。由于EBSD可以同时提供多方位的材料微观信息，所以这项技术在材料研究和材料失效分析中越来越受到重视。