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本文应用岛津台式机MALDI-8030在正离子模式下对光刻胶样品进行分析,获得了其主要成分酚醛树脂的分子量信息,实现了MALDI-TOF对光刻胶树脂分子量分布、合成情况的快速确认。该方法无需复杂前处理,将光刻胶原液稀释后直接上样,具有分析速度快、成本低的特点。中国已进入芯片快车道,而光刻胶是半导体行业中不可或缺的“卡脖子”材料,本例为光刻胶树脂的分子量、分布范围等质量评价和质量控制提供方法参考,为集成电路、新型显示屏、印刷电路板等领域中半导体材料的合成质控提供新的检测思路。
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岛津企业管理(中国)有限公司为您提供《应用MALDI-8030检测光刻胶中酚醛树脂的分子量》,该方案主要用于其它中光刻胶检测,参考标准《暂无》,《应用MALDI-8030检测光刻胶中酚醛树脂的分子量》用到的仪器有null。
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