XPS及其它能谱仪
feixiong5134
第1楼2007/10/26
XPS分析的深度是3-5Nm,分析面积在1000微米左右,也可以小于1000微米.应该可以分析成分
ligroin
第2楼2007/10/31
如果面积是微米级别,可能要使用微区分析,操作上有一定难度
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