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【求助】纳米线阵列是否可以用XPS分析?

XPS及其它能谱仪

  • 在基底上沉积的膜(10几纳米左右,有孔洞)+纳米线阵列(1微米左右),想分析纳米线的成分,可否用xps?
    xps能够反映表面以内多深的信息?基底的信息会造成干扰么?膜呢?
    菜鸟一只,不要见笑。
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  • feixiong5134

    第1楼2007/10/26

    XPS分析的深度是3-5Nm,分析面积在1000微米左右,也可以小于1000微米.
    应该可以分析成分

    wellee 发表:在基底上沉积的膜(10几纳米左右,有孔洞)+纳米线阵列(1微米左右),想分析纳米线的成分,可否用xps?
    xps能够反映表面以内多深的信息?基底的信息会造成干扰么?膜呢?
    菜鸟一只,不要见笑。

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  • ligroin

    第2楼2007/10/31

    如果面积是微米级别,可能要使用微区分析,操作上有一定难度

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