【分享】新手求助：扫描电镜可以发射脉冲电子束吗？

可以通过BEAMBLANKER来实现对电子束的控制，电子束曝光系统就可以做这种事情，不过不知道扫描电子显微镜的束流的强度和束斑的大小是不是能满足您的要求。

使用带有EDS能谱的扫描电镜试试, 用能谱控制电镜,首先扫描以下样品(为了找到样品),然后可以利用能谱进行选点照射. 能否自动发射脉冲还找不准,但可以手动控制.

好像不行哦﹗你用的是什么機子啊﹗日本電子的嗎﹖﹖

最近也和文献作者联系了一下，确实他们也是在利用这个技术来实现的，谢谢您的建议！

我阅读了电镜的说明书，看来不加Beam blanking system的情况下，似乎只能这个样子了，谢谢建议！

建议和BAOSTEEL分析测试中心联系一下,他们也正在搞这个课题!EPMA那边.

学名叫扫描电声显微镜(SEAM)，宝钢是在一台EPMA上自己改造的

宝钢就是在733探针上改装的。

多谢您的建议！

guolieyang 发表:宝钢就是在733探针上改装的。