扫描电镜（SEM/EDS）
insulater
第1楼2010/04/28
这个问题问的好基本也是我对蔡司电镜的一个疑问之一
第2楼2010/04/28
哦对了还有FEI同样个人也有这个疑问
singlee
第3楼2010/04/28
FEI我知道是有有专门的低真空下的BSE探测器的，所以是可用的。Zeiss的Supra VP系列只有个In-Lens的背散射探测器和ASB BSE探测器。In-Lens在低真空下肯定是不行的，SE有专门的VPSE探测器，BSE没说。不知道能不能用。
第4楼2010/04/29
我看产品介绍也是这样说的这块ZEISS的产品好像没有加以说明所以一直有疑问
fyh1010
第5楼2010/04/29
FEI低真空下可用背散射探头，效果还行！
duanwq
第6楼2010/04/29
嗯，问的好，我也有疑问，请专家解答
chuxuezhe
第7楼2010/05/10
ZEISS的BSD探测器具有高低真空两种工作模式，可以根据用户的需要自主选择。
朝阳
第8楼2010/05/16
一般低真空下都是使用的背散射电子信号，能用二次电子的才是高科技。。。。
fly-fall
第9楼2010/05/28
背散射应该是没有问题。。。一般低真空是对二次电子探头要求比较高，Zeiss有专利设计的VP下的二次电子探头，具体的可以去Wiki上看一下哦，链接就不给出了。另外，他们最新款的Ultra Plus可以直接使用Inlens探头，因为其中和电荷的原理有所改变，不再要求整个腔室里充满气体了.但没送样品去做过：）
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