【讨论】请问在低真空下能不能做EDS

可以的，我记得在大学时，
我老师就做过，只是资料得上校园网才能查到。

是用低真空二次电子还是低真空下的BSE啊？
我用低真空二次电子怎么得不到EDS引号？？

我家的不可以做﹗
日本電子的SEM
牛津的EDS

答案是肯定的，可以在低真空状态下做能谱，但是误差较大！而且无论对电镜或者对能谱，长期低真空分析对仪器都不好！

请问我这种是怎么个情况？为啥不能在低真空SE下做EDS哪？

改变束流大小试试看

低真空下做能谱是可以的，只是X射线会衰减，电子束也会扩散，激发的区域大于高真空下的，杂散的峰会多一些。
你说的采集过来就是灰的一片是什么意思？指得是EDS采集的图像吗？

个人观点：EDS取图像第一选择应该就用BSD。SED只能排第二。当然现在EDS可以同时取两路信号。
以上仅为个人观点请勿拍砖

就是没图像，灰黑色