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【讨论】请问EDS测试过程中经常出现Al峰，为什么呢？

  • zhaoxj0820
    2007/11/25
    • 私聊

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 最近在做EDS过程中发现，即使样品中没有Al，仍然会测到Al，为什么呢？
    不会使我们的能谱出现问题了吧，才用了不到1年啊
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    +关注 私聊

  • neosue

    第1楼2007/11/25

    你们用的holder是不是铝的？有可能是打到Holder上了。个人意见，仅供参考。

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    +关注 私聊

  • 德国工兵

    第2楼2007/11/25

    你可以
    1.换不同的样品试试看
    2.Cu，Zn样品台试试看
    如果以上两种情况下铝还是都出现，我怀疑是你探测器的准直器出了问题，准直器是铝的，如果不小心被碰歪了，肯定会出现铝峰，准直器的内壁一般都涂了薄薄的C层，为了防止杂散射线二次激发铝壁产生铝峰！所以说也有可能内壁的C层被破坏了！

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  • 磨剪子嘞 锵菜刀

    第3楼2007/11/26

    8错，实践出真知！

    tao______ 发表:你可以
    1.换不同的样品试试看
    2.Cu，Zn样品台试试看
    如果以上两种情况下铝还是都出现，我怀疑是你探测器的准直器出了问题，准直器是铝的，如果不小心被碰歪了，肯定会出现铝峰，准直器的内壁一般都涂了薄薄的C层，为了防止杂散射线二次激发铝壁产生铝峰！所以说也有可能内壁的C层被破坏了！

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  • dameguyah

    第4楼2007/11/28

    太近了，相对于样品没有接收角度，接收的铝的射线可能是扫描电镜末级光阑附近的本件上来的。让工作距离WD远一点就好了。
    我遇到过这个问题。顺便问一下：你的是什么型号的电镜？

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