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【求助】SEM和EPMA空间分辨率是多少？

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 各位高人：

    SEM（场发射或非场发射）的空间分辨率，或最小束斑直径是多少？
    同样，EPMA的空间分辨率或最小束斑直径是多少？

    谢谢！
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