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扫描电镜(SEM/EDS)
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【求助】SEM和EPMA空间分辨率是多少?
sun-guo
2007/12/03
私聊
扫描电镜(SEM/EDS)
各位高人:
SEM(场发射或非场发射)的空间分辨率,或最小束斑直径是多少?
同样,EPMA的空间分辨率或最小束斑直径是多少?
谢谢!
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