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每周一问7:二次电子检测器不用偏压也能工作正常吗?

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我最近遇见一个案子,经典老电镜剑桥仪器S360,二次电子检测器的闪烁体的12KV供电单元坏了,还有检测器的偏压400V也坏了,可是二次电子像几乎还是和以前什么都好用的时候一样清晰,开始我也很糊涂,后来听高手解释才恍然大悟,请问各位为什么呢?
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  • 第2楼2005/08/30

    怪异!
    12KV没有,闪烁体基本不工作;400V没有,二次电子吸引不过来,图像竟然很好!?
    想不通!

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  • 第3楼2005/08/30

    不好意思,给解释一下这几个名词吧:闪烁体?什么12Kv没有?400v没有?

    semuser 发表:怪异!
    12KV没有,闪烁体基本不工作;400V没有,二次电子吸引不过来,图像竟然很好!?
    想不通!

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  • 第4楼2005/08/30

    闪烁体是二次电子探测器的主要部件2。二次电子打在闪烁体上,发出荧光,然后在光电阴极上再转换成电信号,再被光电倍增管放大……
    其他两个不知道了。

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  • 第5楼2005/08/30

    难道是背散射电子?但单靠背散射电子不会有这么清晰啊。

    还有,那能正常工作吗?如果能正常工作,是不是以后的探测器可以向这方面发展啊。

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  • 第6楼2005/08/30

    那么是不是低压工作照样很正常,呵呵

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  • 第7楼2005/08/30

    呵呵,谈谈我的看法。闪烁体只对数Kev的电子敏感,所以要探测二次电子必须利用400V的偏压将二次电子吸引至闪烁体方向,并利用12Kev将其加速成高能电子以被闪烁体探测。而在楼主所述情况下,显然不再可能探测到二次电子,只可能是背散射电子像。因为背散射电子能量较高,自身已能激发闪烁体使其产生信号。事实上大家也知道二次电子像里含有70%的背散射电子。所以楼主得到的为一背散射电子像。实际上,所谓的二次电子探头也可被该成背散射探头,只需将偏压设置为负电压以排除二次电子即可。顺便说一句,上面有朋友说“12Kev没有,闪烁体基本不工作”,我感觉可能这种说法欠妥,说成闪烁体对二次电子基本不工作是可以的,对背散射电子还是工作的。

    renxin 发表:我最近遇见一个案子, S360, 闪烁体的 12KV 供电单元坏了, 还有 SE检测器的偏压400V也坏了, 可是 SE像 几乎还是和以前 什么都好用的时候一样清晰, 开始我也很糊涂, 后来听高手解释才恍然大悟, 请问各位 怎么看。

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  • 第9楼2005/08/30

    感觉您对问题的解释和阐述都很清晰,听了受益匪浅,谢谢

    newkingtor 发表:以上个人观点不知对否,欢迎指正!

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  • 第11楼2005/08/30

    欢迎常来啊,请问您平时用的是什么电镜?做的是什么方面的检测呢?

    newkingtor 发表:呵呵,不敢不敢,大家多多探讨!

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  • 第12楼2005/08/31

    如果是纯背散射电子像会跟带有二次电子的像一样清晰吗?不会吧?!

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  • 第13楼2005/08/31

    低倍的还行吧。

    SeanWen 发表:如果是纯背散射电子像会跟带有二次电子的像一样清晰吗?不会吧?!

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