【讨论】能谱仪上的新技术

EBSD技术自20世纪80年代出现以来，伴随扫描电镜技术与计算技术的飞速发展，EBSD的功能越来越强大，效率越来越高，在材料、地质、微电子等行业，有了广泛的应用。EBSD技术将材料的晶体学信息与微观形貌有机地结合，成为研究材料宏微观取向及其分布、微观物相鉴定与空间分布等的强有力工具。
自20世纪90年代中期，我国开始引进EBSD系统及分析技术以来，目前在国内已有EBSD系统100余套，在我国材料科学、地质矿物、微电子技术等研究领域发挥了很大的作用。
但是，由于EBSD技术的使用需要较强的晶体学及电子显微分析知识背景，以及好的样品制备及电镜操作技能，EBSD技术在国内相当多的单位未能发挥其应有的作用，导致了设备资源的浪费。

能谱仪最大的发展就是SDD技术，以布鲁克公司为代表的新一代SDD能谱仪正在冲击着传统的液氮制冷锂漂移硅能谱。
布鲁克公司最早推出商用SDD能谱探测器，至今已经超过10年的历史，全球超过1000个用户，这两年牛津,EDAX也在积极推出他们的SDD产品，相信不久的将来，SDD将全面取代Si（Li）。
相比传统能谱，SDD技术优势非常明显
1.彻底告别液氮，完全免维护
2.速度快，高计数下保持良好的分辨率和低的死时间
3.工作温度仅为零下25度，安全，达到工作温度仅需30秒，真正即开急用。
4.分辨率好，布鲁克承诺Mn Ka 分辨率达到125eV，碳元素分辨率优于48eV，
5.稳定性好：100000cps保持谱峰位置漂移不超过1ev。