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【求助】帮忙分析一下可能是何原因导致SEM图像的边缘出现很长的条纹

fly-fall

2009/07/28

扫描电镜（SEM/EDS）

赏
悬赏金额:20积分状态:已解决

一台LEO 1530扫描电镜，使用时间较长，之前一直工作稳定，一次突然真空抽不上去，拆解真空阀门后恢复，BAKING后投入正常使用，一小时后开始出现如图所示的情况，百思不得其解。LEO的工程师说是环境因素，觉得他说的不对...请各位兄弟们帮忙分析下原因~~~或者类似情况怎么处理，谢谢了。下面有些是LEO的，可以看到此现象极为严重。隔壁的S4700工作正常，图像清晰！

谢谢指出可能是高压问题的那位同学，虽然是在供应商之后指出的，还是十分感谢！

fengyonghe 2009/08/01

[quote]原文由 [B]fly-fall[/B] 发表: 情况又复杂了，无法再复现上午的情况...[/quote] 我的仪器出现这种情况时，扫描方式会在示波器上看到多余的调制波形

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朝阳

第1楼2009/07/28

像是干扰。。。

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fly-fall

第2楼2009/07/28

干扰？能否具体点。周围的环境没有任何的变化...BAKING后的真空度也很好！而且INLENS and SE2像下都有这样的条纹存在，改变降噪方式为LINE，N=12后有所好转...但以前都是设为PIXEL AVG的。INLENS 和SE2有点类似明场和暗场的分别...是LEO自己的称呼。会不会是透镜或者CCD？

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fengyonghe

第3楼2009/07/28

在你的电网上有大功率可控硅在运行，以前可能没有。
fly-fall 发表:干扰？能否具体点。周围的环境没有任何的变化...BAKING后的真空度也很好！而且INLENS and SE2像下都有这样的条纹存在，改变降噪方式为LINE，N=12后有所好转...但以前都是设为PIXEL AVG的。INLENS 和SE2有点类似明场和暗场的分别...是LEO自己的称呼。会不会是透镜或者CCD？

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fly-fall

第4楼2009/07/28

这位兄弟说的不太可能，这些都是独立的供电，没有特意在LEO上附加任何整流器或别的器件。而且，同一实验室还有两台S4700型冷场发射电镜，都工作正常...没有发现这种干扰现象。

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fengyonghe

第5楼2009/07/28

都是经验之谈，不一定都适用，我的仪器是这样的。可控硅离电镜大约几十米，使用同一台变压器。干扰条文完全相同。
fly-fall 发表:这位兄弟说的不太可能，这些都是独立的供电，没有特意在LEO上附加任何整流器或别的器件。而且，同一实验室还有两台S4700型冷场发射电镜，都工作正常...没有发现这种干扰现象。

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fly-fall

第6楼2009/07/29

OK,我会核实一下,记得以前看过JEOL的一本关于SEM/EDX的介绍,里面写到:电子枪的不当调整有可能会导致干扰. 多谢兄弟了

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永远的菜鸟

第7楼2009/07/29

个人同意这说法
fly-fall 发表:OK,我会核实一下,记得以前看过JEOL的一本关于SEM/EDX的介绍,里面写到:电子枪的不当调整有可能会导致干扰. 多谢兄弟了

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fly-fall

第8楼2009/07/29

明天说会带台仪器过来测量一下磁场，拭目以待中...呵呵，和VENDOR一起成长了。

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春天的桃子

第9楼2009/07/30

现在你的问题还解决了?
这个问题我也没有遇到过.JEOL的工程师也讲过电子枪的不当调整有可能会导致一些干扰.
fly-fall 发表:OK,我会核实一下,记得以前看过JEOL的一本关于SEM/EDX的介绍,里面写到:电子枪的不当调整有可能会导致干扰. 多谢兄弟了

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fengyonghe

第10楼2009/07/31

查到资料上有如下说法：仪器高压发生器不稳定，其振荡频率偏离正常值。可产生这种斜纹干扰。
fly-fall 发表:明天说会带台仪器过来测量一下磁场，拭目以待中...呵呵，和VENDOR一起成长了。

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