【求助】CPS & 末级光圈

------1.我一般做EDS分析的CPS在4000到4500左右，??
想问一下楼主用的是那家的能谱呢？CPS怎么会要4K到5K呢？正常情况最多也只要3K就好了，我用的是牛津的了在做实验时最多到1K左右就好了！
-----2.相对应的SPOTSIZE在50足够了？
SPOTSIZE到50了也是不正常的，那样的话电镜很容易受污染的.
-----3.如果是真空度不足，又如何证实呢？
真空度不足你的能谱还能用吗？

CPS不用那么高的，有1K到1.5K就可以了！

回复二楼的大侠:1,我这里的能谱也是牛津的;
2,如果保持1K~2K的CPS,我这里的dead time可能就只有10%左右拉，按照JEOL工程师的说法,deadtime必须保持在20%以上,这样EDS结果的准确度才足够高.

如何清洗末级光圈，盼各位大侠再施援手。

您的做法是对的，能谱分析最好用高计数，这是无庸置疑的，没有1Kcps就足够的这种说法！
不知道你的电镜是那一款，建议检查一下
1.能谱的位置
2.WD，HV
3.和样品也有关系，两次是用的同样的样品吗，原子序数相差很大的时候X射线产额相差很大
4.检查准直器是否被堵住了？如果是老的SEM用油扩散泵的话可能回吸的油冷凝在TUBE上滑落到准直器堵住准直器。
5.检查光缆align

偶的电镜是JEOL6360LV的，
准直器跟电缆我得好好检查一下。其它的都不是问题 。