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【求助】紧急求救,加上电压后却没有发射电流?(已解决)

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 仪器为电子探针,型号JXA-8100,更换新灯丝加上高压后却始终没有发射电流,纯灯丝电流为2.26A,EMI始终显示为0,灯丝搜寻饱和点显示为灯丝断,可取下灯丝后用万用表测试却完好,原因为何,请各位大侠相助?电子枪对中等操作都用过,也没有反应,

    工程师来维修了,原因已查明,就是高压控制电路的一根线断了,怀凝是老鼠干的好事,在此非常感谢各位热心和回答,谢谢了!
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  • huangtao0307

    第1楼2008/01/05

    有圖像嗎﹖﹖
    如果沒圖像可能是光蘭偏了哦﹗

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  • netasp

    第2楼2008/01/05

    没有图像,光栏应该没有问题,因为前面一直用着都是好的,也没有调动过光栏

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  • jzhx68

    第3楼2008/01/07

    把灯丝装上,点一段时间,大概5~10分钟。然后看图像,如果还没有图像,就关闭灯丝,破除真空,看一下阳极帽是否发热。再说。

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  • netasp

    第5楼2008/01/07

    阳极帽是发热的,纯灯丝电流也有FIL=2.26A,可就是电子束到不了样品腔,也没有EMI

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  • jzhx68

    第6楼2008/01/07

    看一下灯丝像有吗?

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  • netasp

    第7楼2008/01/07

    没有,EMI都没有怎么会有灯丝像?

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  • jzhx68

    第8楼2008/01/07

    我估计两种可能:

    1)就是可能下面有阀没有打开,挡住了电子束,但是没有EMI这个概率又较小;
    2)要查一下加速电压,可能是控制板,也有可能是变压器,看一下是不是有一个24V输入,几百V输出的变压器;然后用高压棒接在万用表上量一下;

    抛砖引玉

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  • netasp

    第11楼2008/01/25

    谢谢,能告之检查那些部位的保险管?用万用表怎么进行高压测试,能详细告之么?谢谢!

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  • esem

    第12楼2008/01/29

    电子探针,那你有没有显微镜?

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  • esem

    第13楼2008/01/29

    如果有的话,看一下,是不是显微镜的反射镜将电子束挡住。

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