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【求助】图像分析中的疑问

  • sunshining
    2008/01/28
  • 私聊

扫描探针显微镜SPM/AFM

  • 大家好,想问一下: 在处理图像时,如果有2个sample A,B,都在DFM模式下,在1um扫描范围下,我得出了 A,B的图像。但是扫描过程中,比如I,P Gain,Amp.Ref,Scan Speed 我这些参数都不一样,之后做一样的Flat,Tilt,现在要问,这时候比较他们的粗糙度,平均颗粒直径这些数据,还有没有可比性?
    还有,同一sample,同一位置扫同样的范围,如果扫描参数不一样,粗糙度,平均颗粒直径 也会不一样?为什么?
    那,我要比较不同样品的粗糙度,平均颗粒直径 我应该如何做好有可比性的前提条件?
    谢谢大家!迫切等待解决。
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  • rapido

    第1楼2008/01/29

    统计

    sunshining 发表:大家好,想问一下: 在处理图像时,如果有2个sample A,B,都在DFM模式下,在1um扫描范围下,我得出了 A,B的图像。但是扫描过程中,比如I,P Gain,Amp.Ref,Scan Speed 我这些参数都不一样,之后做一样的Flat,Tilt,现在要问,这时候比较他们的粗糙度,平均颗粒直径这些数据,还有没有可比性?
    还有,同一sample,同一位置扫同样的范围,如果扫描参数不一样,粗糙度,平均颗粒直径 也会不一样?为什么?
    那,我要比较不同样品的粗糙度,平均颗粒直径 我应该如何做好有可比性的前提条件?
    谢谢大家!迫切等待解决。

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  • sunshining

    第2楼2008/01/29

    楼上,您说的太深了。。我是新手,谢谢。

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  • hitttr

    第3楼2008/02/13

    这个问题比较复杂。
    一般而言,扫描不同的样品,不同的扫描区域的时候,要获得好的图像,所需要的扫描参数是不一样的,一般都需要根据扫描图像的质量对参数进行实时调节,直到稳定,清晰的成像。
    1.对于在不同样品上获得的A,B两幅图像,虽然扫描参数不一样;但是,只要两幅图像都是稳定,清晰的图像(即针尖是稳定,正确的跟踪样品表面的),我认为,二者的平均粒径数据是具有可比性的。如果平整化方式都一样,那么粗糙度数据应该也是具有可比性的。

    2.扫描同一区域,扫描不同,得出的结果也不同。这个比较好解释。扫描时,反馈系统要控制针尖需要跟踪样品表面,反馈参数不同,针尖跟踪样品的效果自然也就不同,得到的图像当然也不同,参数控制不好的话,还会出现一些假象。所以在扫描的时候,需要观察图像,一边调节参数。

    所以,要比较不同样品的粗糙度,平均粒径等,就必须在扫描的时候做好参数控制,使获得的图像能真实的反映样品的表面形貌。这样就具有可比性了。

    sunshining 发表:大家好,想问一下: 在处理图像时,如果有2个sample A,B,都在DFM模式下,在1um扫描范围下,我得出了 A,B的图像。但是扫描过程中,比如I,P Gain,Amp.Ref,Scan Speed 我这些参数都不一样,之后做一样的Flat,Tilt,现在要问,这时候比较他们的粗糙度,平均颗粒直径这些数据,还有没有可比性?
    还有,同一sample,同一位置扫同样的范围,如果扫描参数不一样,粗糙度,平均颗粒直径 也会不一样?为什么?
    那,我要比较不同样品的粗糙度,平均颗粒直径 我应该如何做好有可比性的前提条件?
    谢谢大家!迫切等待解决。

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  • 白水山石

    第4楼2008/02/27

    学习了!我们的仪器下周验收

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