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FEI Quanta 200i 扫描衬度问题求助

susa1981

2012/12/03

扫描电镜（SEM/EDS）

各位坛友，我正在使用FEI Quanta 200i，应该是钨丝的。利用该仪器（FIB-SEM）进行三维重构，样品始终处于Eucentric位置。

我的样品是Ni和YSZ(YSZ: 8mol% yttria stablized zirconia)电极片，空隙用树脂填充了。想得到Ni 和YSZ的好的衬度。

问题是：在SEM观察中，样品始终处于Eucentric位置，无论用ETD还是BSED检测器，也调节了电压和电流，但均得不到好的衬度。

看论坛里有好多用该系列的高手，不知有没有该方面的经验，麻烦赐教，怎么调才能调出好的衬度？？？？

不胜感激！！！

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asahi42

第1楼2012/12/03

FEI Quanta 3D 200i，这机器有年头了~

建议你用低真空+SSBSD观察，这样可以最大限度对抗树脂荷电的影响。上个图看看？

当然了，做FIB时候的结果和单使用SEM时候的结果往往不可兼得，这个需要取舍。

0

susa1981

第2楼2012/12/04

做3D样品高度不变，WD变化也很小。折腾了好几天也没调出来，上个图你帮看看。

这个是用SE检测器测得，黑色为树脂，Ni/YSZ亮区，貌似有点点衬度，但远不够。用BSED测得不会比这个好。
asahi42(asahi42) 发表:FEI Quanta 3D 200i，这机器有年头了~

建议你用低真空+SSBSD观察，这样可以最大限度对抗树脂荷电的影响。上个图看看？

当然了，做FIB时候的结果和单使用SEM时候的结果往往不可兼得，这个需要取舍。

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susa1981

第3楼2012/12/04

再传个BSED的
asahi42(asahi42) 发表:FEI Quanta 3D 200i，这机器有年头了~

建议你用低真空+SSBSD观察，这样可以最大限度对抗树脂荷电的影响。上个图看看？

当然了，做FIB时候的结果和单使用SEM时候的结果往往不可兼得，这个需要取舍。

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小M

第4楼2012/12/26

应助达人

钨灯丝的用2.5KV这么小的电压吗？能不能试试高一些的电压，如15KV？

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