扫描电镜（SEM/EDS）
共工
第1楼2008/04/03
看来电子枪和样本室之间的隔离阀门有问题，这个阀门一般是气动的。建议先检查空压机压力输出，没问题的话可以再检查阀门上的密封圈。
netasp
第2楼2008/04/18
工程师维修过了，修改了电路和清洗了垫圈，现在正常了
liushanhu
第3楼2008/04/21
呵呵
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