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【求助】请问SEM可以测到 小于20nm以下厚的 截面 的形貌和厚度吗?

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 请问SEM可以测到 小于20nm以下厚的 截面 的形貌和厚度吗?
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  • jzhx68

    第1楼2008/04/23

    应该可以，但测量厚度时，样品要保持垂直。

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