【讨论】ICP-MS中真空的测量

不是太明白，只知道仪器中软件有表示真空的仪表，像压力表。

没太研究过真空规

真空的测量
1、Pirani Gauges热偶规
通过监测热丝温度的变化间接测定真空压力。
适用于1x10-2~1x103 pa的中等真空范围。在7500中用于IF/BK的真空测定。
2、Penning Gauges冷阴极规
由圆筒形不锈钢阴极及位于圆筒轴心的环状或针状阳极构成。
利用低压气体分子的电离电流与压力有关的特性，通过检测放电电流大小来测定真空压力。多用于10-8~10-2 Pa 的高真空测定。在7500中用于Analyzer 的真空压力测定。
呵呵查资料得出的，自己还没看见原型呢。

[quote]原文由 zhckj 发表:真空的测量
1、Pirani Gauges热偶规
通过监测热丝温度的变化间接测定真空压力。
适用于1x10-2~1x103 pa的中等真空范围。在7500中用于IF/BK的真空测定。
2、Penning Gauges冷阴极规
由圆筒形不锈钢阴极及位于圆筒轴心的环状或针状阳极构成。
利用低压气体分子的电离电流与压力有关的特性，通过检测放电电流大小来测定真空压力。多用于10-8~10-2 Pa 的高真空测定。在7500中用于Analyzer 的真空压力测定。
呵呵查资料得出的，自己还没看见原型呢。

机械泵的真空是用Pirani Gauges热偶规测量的,而分子泵所抽得的高真空是用Penning Gauges冷阴极规测量的吧...

学习了，楼主很认真啊