ICP-MS
tcduan
第1楼2008/06/02
激光烧蚀或者表面化学浸提
lizhongxi8
第2楼2008/06/02
可以测定,但要选择适当的样品预处理方法.
chauchylan
第3楼2008/06/02
这应属于表面分析的范畴吧....
kiwi-kids
第4楼2008/06/03
VPD技术好像需要特别的配置
第5楼2008/06/03
表面化学浸提是指表面化学萃取吗???
风起云飘舞
第6楼2008/06/06
好像看到过一这样的文章,但是全是英文,很困难的阅读完,发现内容很空洞,没什么实践价值,只是说了一些人所共知的套话。大体上说可以测,具体方案可以咨询仪器厂家 的应用专家。
第7楼2008/06/07
这个可以参考SEMI的方法,石墨炉原吸或者ICPMS测定硅片表面元素沾污仪器公司的文献更侧重于如何调整仪器以及具体的实验数据
nps
第8楼2008/06/09
是的,SEMI有这么一个标准方法...
zhangzhoumin
第9楼2008/06/19
当然可以了,如果你需要可以和我联系邮箱ZXMLYK@SINA.COM
第10楼2008/06/28
补充下:标准号留下 SEMI MF1724-1104
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