【求助】EDX和XPS有啥区别呢！谢谢您的帮助！

EDS是测定相对深点的
他能得到里面含有什么元素
这样可以跟透射对比
更好的确定谱图
而xps是测定表面的
他还可以确定元素的价态
各有侧重点

谢谢

补充楼上：

EDS的定性检测限要高一点，目前最好的EDS测元素含量只能达到2%，也就是说如果某元素的含量小于2%，EDS就不能检测到。另外EDS不能检测轻元素，如Li，B，不准确。它的好处是，可以进行样品的线分布或者点分布的定性和定量测定，也就是说，可以根据SEM图中您想要的位置随时选点测定分析。

XPS的检测限要更低，0.1%的元素含量就可以检测到，适用于除了H，He以外的所有元素的分析。XPS除了测定表面元素之外，也可以进行样品元素沿纵深方向的分布情况，即做深度剖析

以前做的时候
问操作人员EDS的取谱深度
和极限
他们也不知道
向您学习了
谢谢

大家都很专业么！谢谢了！