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【讨论】各位前辈，帮忙看一下小弟的XRD的结果！不对的地方告知！

X射线衍射仪（XRD）


  • 首先说一下：
    我做的是三元薄膜：SiCN，所用气源：硅烷、甲烷、氮气！仪器：HFCVD
    通过和SiCN 的PDF卡片：74-2308 我认为该图中主要物相就是它，
    28度左右我认为是Si 衬底的峰，另外的一个峰我认为就是杂峰了！
    SiCN的部分结果
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