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【求助】硅片表面检测有没有必要使用ICP-MS7500cs？

  • zjywin2008
    2008/08/27
    • 私聊

ICP-MS

  • 再次请教大家一个问题，对于硅片表面金属沾污的检测使用TREX6000X荧光光谱仪就可以检测了，那是不是就没必要再使用ICP-MS7500cs这台设备了，请教相关领域的高手，最好能给出理由，谢过！
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  • SOMS课题组

    第1楼2008/08/27

    X荧光的准确度可能比较差些，可以大致定性或者半定量的，不过ICPMS是不一定要配的，如果钱多的话无所谓，可以配一台玩玩，有好仪器不玩玩嘛，要看你们单位什么预算和要求的！！

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  • kiwi-kids

    第2楼2008/09/03

    你的wafer表面杂质最低含量在什么水平呢

    zjywin2008 发表:再次请教大家一个问题，对于硅片表面金属沾污的检测使用TREX6000X荧光光谱仪就可以检测了，那是不是就没必要再使用ICP-MS7500cs这台设备了，请教相关领域的高手，最好能给出理由，谢过！

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  • highspeed_v

    第3楼2008/09/08

    看你们那里的要求了，如果是出口的产品还要看客户的要求，半导体方面的客户是很麻烦的，不过一般上了规模的硅片厂或者是芯片厂是都有ICP-MS的

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  • zjywin2008

    第4楼2008/09/08

    说的很有道理！

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