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【求助】硅片表面检测有没有必要使用ICP-MS7500cs?

  • zjywin2008
    2008/08/27
  • 私聊

ICP-MS

  • 再次请教大家一个问题,对于硅片表面金属沾污的检测使用TREX6000X荧光光谱仪就可以检测了,那是不是就没必要再使用ICP-MS7500cs这台设备了,请教相关领域的高手,最好能给出理由,谢过!
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  • SOMS课题组

    第1楼2008/08/27

    X荧光的准确度可能比较差些,可以大致定性或者半定量的,不过ICPMS是不一定要配的,如果钱多的话无所谓,可以配一台玩玩,有好仪器不玩玩嘛,要看你们单位什么预算和要求的!!

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  • kiwi-kids

    第2楼2008/09/03

    你的wafer表面杂质最低含量在什么水平呢

    zjywin2008 发表:再次请教大家一个问题,对于硅片表面金属沾污的检测使用TREX6000X荧光光谱仪就可以检测了,那是不是就没必要再使用ICP-MS7500cs这台设备了,请教相关领域的高手,最好能给出理由,谢过!

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  • highspeed_v

    第3楼2008/09/08

    看你们那里的要求了,如果是出口的产品还要看客户的要求,半导体方面的客户是很麻烦的,不过一般上了规模的硅片厂或者是芯片厂是都有ICP-MS

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  • zjywin2008

    第4楼2008/09/08

    说的很有道理!

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