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【讨论】EDX中所用电致冷检测器与SEM中所用电致冷探测器的区别?

  • 白水山石
    2008/08/28
    • 私聊

X射线荧光光谱仪（XRF）

  • EDX和SEM中都有用电致冷探测器的,但两者在能量分辨率上不同.可能是本人知识面有限,据我所知(都是从咱们的论坛上了解的),EDX所用电致冷探测器的分辨率为150EV左右,而SEM中所用的探测器的分辨率为115EV,这两种探测器分辨率不同的主要原因是什么?结构上的还是原理上的?

    谢谢大家的指教
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  • zgj0010

    第1楼2008/08/28

    原理都是一样的,都是通过识别不同元素的光谱能量来识别不同的元素.

    tianzhen 发表:EDX和SEM中都有用电致冷探测器的,但两者在能量分辨率上不同.可能是本人知识面有限,据我所知(都是从咱们的论坛上了解的),EDX所用电致冷探测器的分辨率为150EV左右,而SEM中所用的探测器的分辨率为115EV,这两种探测器分辨率不同的主要原因是什么?结构上的还是原理上的?

    谢谢大家的指教

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    +关注 私聊

  • 白水山石

    第2楼2008/08/28

    为什么产生分辨率上的差别呢?那就是结构不同了?

    zgj0010 发表:原理都是一样的,都是通过识别不同元素的光谱能量来识别不同的元素.

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