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【求助】关于硅片的厚度和总厚度变化测试

物性测试综合讨论

  • 请问各位大侠：硅片的厚度和总厚度变化用千分尺测量外，现在比较主流的测试仪器是什么啊？？
    谢谢了！
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    +关注 私聊

  • 大陆

    第1楼2008/09/05

    mm级的宏观厚度主流设备就是千分尺。

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  • 社区=冬季=

    第2楼2008/09/09

    卡尺也可以吧

0
    +关注 私聊

  • 大陆

    第3楼2008/09/09

    嗯，或者卡尺。如果不是很计较0.02mm和0.01mm精度之间的差别的话。

    lylsg555 发表:卡尺也可以吧

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