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束斑直径怎么调?

  • jiaoshujing
    2005/04/14
  • 私聊

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 我是新手,我好像从来没调过束斑直径,怎么调啊?
    哪位高手能告诉我都有哪些元素是重峰?
    做能谱时发现测出的结果不可信,有时候是C的含量很高,有时是O的含量很高,我用的剑桥S-360的电镜,牛津的能谱。
    刚开始用电镜和能谱,还有很多问题不懂。急盼高人指导
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  • 第1楼2005/04/15

    S360是很好的电镜, 图像质量甚至好于最新型号的 W枪电镜, 操作简单, 调节束斑大小可以通过选择 SPOT SIZE 按钮完成, 这款电镜是 当时最先进的, 是第一台数字电镜。
    能量谱上的重峰 很多, 定性定量分析 很多失真, 最好讨论实例

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  • 第2楼2005/04/17

    什么情况下需要调束斑直径呢?

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  • 第3楼2005/04/18

    束斑直径是不是越小越好哇?
    可是在增大探针电流的时候束斑就随着增大。
    只要探针电流合适,束斑有多大就算多大吧。
    有些电镜有束斑显示,多数电镜都没有。
    较新型号的ZEISS钨灯丝扫描电镜(也是剑桥生产)都有束斑显示(SPOT SIZE),在调整时,它与探针电流一起变化。
    但我还没搞清,它显示束斑尺寸的单位是什么。

    做能谱定量分析的时候,一定要设置好背底,否则将影响定量结果,特别是轻元素。
    另外在轻元素位置重叠峰也较多,影响分析可信度。

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  • 第4楼2005/06/08

    俺也遇到过同样的情况,有时C和O的含量高的离谱,有人说是真空油污染问题,不知有没有道理.
    俺懂的也不多.

    jiaoshujing 发表:做能谱时发现测出的结果不可信,有时候是C的含量很高,有时是O的含量很高,

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  • 第5楼2005/06/08

    这个很有可能!也可能你的样品表面太脏了!!!
    翻翻以前的帖子,有人问过类似问题的。
    第五页:【FAQ】能谱仪的计数率偏低
    推荐你看一下

    新手上路A 发表:俺也遇到过同样的情况,有时C和O的含量高的离谱,有人说是真空油污染问题,不知有没有道理.
    俺懂的也不多.

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  • 第6楼2005/06/08

    炭导电胶也可能导致样品表面C污染的!

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  • 第7楼2005/06/09

    这个怎么回事?导电胶在探测样品区域的附近?

    seanwen 发表:炭导电胶也可能导致样品表面C污染的!

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  • 第8楼2005/06/09

    样品较薄时,电子束可能穿透样品,激发导电胶。
    另外,能谱可能收到因被散射电子打到其它地方激发的X射线,
    好像调准直器可以消除。

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  • 第9楼2005/06/09

    哦,原来是这样的,能谱打到其他地方激发X射线倒是在TEM里面常见,扫描的准直器?是不是探针里面用的?

    semuser 发表:样品较薄时,电子束可能穿透样品,激发导电胶。
    另外,能谱可能收到因被散射电子打到其它地方激发的X射线,
    好像调准直器可以消除。

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