扫描电镜（SEM/EDS）
asahi42
第1楼2011/06/11
半导体又不能喷金，污染肯定会有的。。。加上冷阱试试，还有就是调焦的点和拍照的点之间离远点。。。
fengyonghe
第2楼2011/06/11
尽量用低加速电压
lich_dc
第3楼2011/06/12
楼主可以看看XEI Plasma Cleaner， 以及置顶的帖子对你肯定有帮助XEI的等离子可以明显消除你的顾虑， 而一般冷场的冷荆只能吸附污染物而且效率不高，而且不能取出污染物。像XEI很多案例都是在4300,4500,4700和4800实现的，因为真空问题冷场更容易怕污染，所以冷场在如何去除污染物方面应该是把PLASMA CLEANER作为标配的。
小M
第4楼2011/06/12
变黑可能是材料本身的关系，也可能是碳污染，楼主可以参考一下置顶帖
毒菇九剑
第5楼2011/06/14
冷井里加液氮了吗
xplg235689
第6楼2011/08/05
加液氮了，贡献不是很大
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