Varian Saturn 2000 系统,在运行样品的过程中,突然出现vacuum pump not ready的信息,然后说系统硬件出现问题。重启之后分子泵电流为480-500mA,但是速度只有8%,一直不增加。等待几分钟后,出现pump control error,泵速为0%,电流仅为10-20mA。不知道是什么问题?
wangjunxia发表:Varian Saturn 2000 系统,在运行样品的过程中,突然出现vacuum pump not ready的信息,然后说系统硬件出现问题。重启之后分子泵电流为480-500mA,但是速度只有8%,一直不增加。等待几分钟后,出现pump control error,泵速为0%,电流仅为10-20mA。不知道是什么问题?
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