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【求助】SEM中如何解决样品形貌对EDS信号产额的影响？

蓝莓口香糖

2009/02/13

扫描电镜（SEM/EDS）

今天有人问我SEM样品喷金对EDS的影响。我觉得金肯定会对低能信号产生明显吸收，这样定量结果就不可信。但是如果如果能看到信号，定性分析不会受太大影响。我对SEM经验很少，完全是根据TEM的经验这么说的。
由此我想到另一个问题。如果样品表面起伏比较大，比如有个小山包，或者球形颗粒，那么背向EDS探头的一侧的信号是否会受明显影响？这种影响在定量分析中如何考虑？虽然软件里都有ZAF校正，但是那个只考虑样品内部对X光信号的影响，样品形貌千差万别，这个因素是无法预先设定的。
我用TEM比较多，把样品朝EDS探头转动十多度可以有效避免样品内部对低能信号的吸收。形貌的影响不必考虑，因为TEM样品表面不会有太大起伏。形貌的因素可以忽略。但是在SEM里，这个因素好象不能轻易忽略。

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第1楼2009/02/16

是的,样品的表面凹凸不平会影响测试的效果,接受的信号会减小,是因为电子束打在上面又被反弹到别的表面了,没有被捕捉.
drizzlemiao 发表:由此我想到另一个问题。如果样品表面起伏比较大，比如有个小山包，或者球形颗粒，那么背向EDS探头的一侧的信号是否会受明显影响？这种影响在定量分析中如何考虑？虽然软件里都有ZAF校正，但是那个只考虑样品内部对X光信号的影响，样品形貌千差万别，这个因素是无法预先设定的。
我用TEM比较多，把样品朝EDS探头转动十多度可以有效避免样品内部对低能信号的吸收。形貌的影响不必考虑，因为TEM样品表面不会有太大起伏。形貌的因素可以忽略。但是在SEM里，这个因素好象不能轻易忽略。

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蓝莓口香糖

第2楼2009/02/18

形貌与电子束之间的相互作用会影响不同位置间结果的比较，比如线扫和面扫。但是对于定点分析，应该没有影响。
我的疑问主要是形貌对X光信号本身的影响。主要就是吸收作用。假设样品是个含多种元素的颗粒，颗粒本身对X光信号的吸收在面向探头一侧和背向探头一侧是不同的。所以即使颗粒成分均匀，得到的结果是不是也可能不同？有什么方法校正？

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