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【求助】求教SEM的景深

扫描电镜(SEM/EDS)

  • 请教一个问题,SEM的景深是多少,与什么因素有关?不考虑品牌因素。

    能否给出下列放大倍数的景深范围?

    钨灯丝、场发射,
    5000x,10000x,30000x。
    场发射,
    50000x,100000x,300000x。



    谢谢。
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  • 春天的桃子

    第1楼2009/03/13

    景深
    各个电镜是不一样的.这是各个厂家的技术.

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  • fengyonghe

    第2楼2009/03/16

    焦深计算公式
    L= ±[(r/M)-d]/2α
    L: 焦深 r: 显像管最小分辨距离 M:放大倍数 d:入射电子束直径 2α:物镜孔径角。
    从上面的式子可以看出影响焦深的因素,其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r(显像管的分辨率)和2α都是未知数,实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受,还是直观的测量一下为好。

    webaby_1 发表:请教一个问题,SEM的景深是多少,与什么因素有关?不考虑品牌因素。

    能否给出下列放大倍数的景深范围?

    钨灯丝、场发射,
    5000x,10000x,30000x。
    场发射,
    50000x,100000x,300000x。



    谢谢。

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  • fengyonghe

    第4楼2009/03/18

    本人又查阅了一些资料,显像管最小分辨距离为0.22mm-0.3mm, 孔径角的典型数值为10-2—10-3rad.利用公式L= ±[(r/M)-d]/2α可以计算出在有效放大倍率下的焦深数据。设d=3纳米,孔径角2α=10-2 rad,r=0.3mm。计算焦深如下:
    1000倍下为59.4微米。5000倍下为11.4微米。10000倍下为5.4微米。超过100000倍已经超过了有效放大倍率。不能计算。

    fengyonghe 发表:焦深计算公式
    L= ±[(r/M)-d]/2α
    L: 焦深 r: 显像管最小分辨距离 M:放大倍数 d:入射电子束直径 2α:物镜孔径角。
    从上面的式子可以看出影响焦深的因素,其中隐含了工作距离w。物镜孔径角与工作距离和入射电子束直径有关。由于r(显像管的分辨率)和2α都是未知数,实际上不能计算。焦深也只是个人的视觉感受,还是直观的测量一下为好。

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