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【求助】FEI SEM 相关问题

扫描电镜（SEM/EDS）

  • 1。spot size是由哪个硬件控制的
    2. interaction volume有什么重要性和意义?


    求助。。希望大家帮帮忙.
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    +关注 私聊

  • zhuangj581

    第1楼2009/03/18

    spot sizez在软件控制面板上可调 第二个问题不是一句话能回答的 可一参考相关书籍 电子和物质相互作用的有关内容

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    +关注 私聊

  • 朝阳

    第2楼2009/03/18

    束斑尺寸是通过聚光镜电流控制的。
    作用体积是指电子束的激发深度，主要由电子束的能量控制，作用深度越深，里层型号会被激发出来，表面信息减少。

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